-
公开(公告)号:CN102834943B
公开(公告)日:2015-09-09
申请号:CN201280000956.0
申请日:2012-02-28
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L41/09 , H01G2/06 , H01L41/187 , H01L41/22 , H01L41/47
CPC classification number: H01L41/319 , H01L41/0815 , Y10T428/12361 , Y10T428/24331
Abstract: 本发明提供一种层叠体及其制造方法。层叠体(1)具备陶瓷基板(11)、压电元件(10)、和中间层(15)。压电元件(10)具有下部电极(12)。中间层(15)形成于基板(11)和压电元件(10)的下部电极(12)之间。中间层(15)含有与下部电极(12)的金属不同的金属和/或其氧化物作为主要成分,而且包含孔(152)。
-
公开(公告)号:CN102834943A
公开(公告)日:2012-12-19
申请号:CN201280000956.0
申请日:2012-02-28
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L41/09 , H01G2/06 , H01L41/187 , H01L41/22 , H01L41/24
CPC classification number: H01L41/319 , H01L41/0815 , Y10T428/12361 , Y10T428/24331
Abstract: 本发明提供一种层叠体及其制造方法。层叠体(1)具备陶瓷基板(11)、压电元件(10)、和中间层(15)。压电元件(10)具有下部电极(12)。中间层(15)形成于基板(11)和压电元件(10)的下部电极(12)之间。中间层(15)含有与下部电极(12)的金属不同的金属和/或其氧化物作为主要成分,而且包含孔(152)。
-