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公开(公告)号：CN117940620A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202180102294.7
申请日：2021-12-22
Applicant: 日本碍子株式会社
Inventor： 宫风里纱 , 松岛洁 , 吉川润
IPC: C30B29/36 , C04B35/577 , C30B1/02
Abstract: 本发明提供一种能够减少基板加工时的破裂和裂纹的包含稀土的SiC基板。该包含稀土的SiC基板具备B的浓度CB相对于稀土元素的浓度CRE的比CB/CRE为1.0×10‑2～1.0×105的双轴取向SiC层。
