公开(公告)号：CN100563397C

公开(公告)日：2009-11-25

申请号：CN200710089471.4

申请日：2007-03-23

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 海野丰 ,  后藤义信

IPC: H05B3/06 ,  H05B3/20 ,  H05B3/74 ,  H01L21/02

CPC classification number: F27D3/0084 ,  F27D99/0006 ,  F27D2099/0008 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/68792

Abstract: 本发明的目的在于提供一种使陶瓷基体和轴的接合部切实具有高强度，由此提高制品生产率的加热装置。加热装置(1)在与埋设有电阻发热体(12)的陶瓷基体(11)的加热面(11a)相反侧的接合面上接合大致圆筒状的轴(21)，该轴(21)具有：在与上述陶瓷基体(11)的接合端部形成的凸缘部(21a)；以及，与该凸缘部(21a)连接的第一圆筒部(21b)，该凸缘部(21a)的接合部的内径D3和上述第一圆筒部(21b)的外径D1的比率D3/D1为92%以上。

公开(公告)号：CN1917722A

公开(公告)日：2007-02-21

申请号：CN200610115746.2

申请日：2006-08-15

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 冈岛久和 ,  后藤义信

IPC: H05B3/06 ,  H05B3/18 ,  H05B3/22

CPC classification number: H05B3/143 ,  H01L21/67103

Abstract: 本发明提供一种加热装置，其能够降低排出到基板加热面上的气体的排出量的偏差，并能够不影响基板的成长膜的生成等地抑制在基板加热面上堆积反应膜。加热装置(100)具备：具有放置基板的基板加热面(10a)及位于基板加热面(10a)相反一侧的加热部件背面(10b)并埋设有电阻发热体(11)的板状的加热部件(10)；配置在加热部件(10)的加热部件背面侧(10b)并具有与加热部件背面(10b)相对的相对面(20a)的辅助部件(20)，在加热部件背面(10b)和相对面(20a)之间，形成排出到基板加热面(10a)上的气体路径即面状气体路径(14a)。

公开(公告)号：CN1856189A

公开(公告)日：2006-11-01

申请号：CN200610066693.X

申请日：2006-04-19

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 后藤义信 ,  鹤田英芳

IPC: H05B3/02 ,  H05B3/10

CPC classification number: H01L21/67103 ,  H01L21/68792

Abstract: 本发明提供可提高装置的耐久性的供电部件以及使用了它的加热装置。该供电部件(100)具备：与供电对象连接的第1棒状部件(101)，与电源连接的第2棒状部件(103)，以及在第1棒状部件(101)与第2棒状部件(103)之间设置的与第1棒状部件(101)与第2棒状部件(103)相比在轴向的截面积小并且表面积大的热功能部件(102)。

公开(公告)号：CN100518414C

公开(公告)日：2009-07-22

申请号：CN200710089122.2

申请日：2007-03-19

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 后藤义信 ,  冈岛久和

IPC: H05B3/06 ,  H05B3/20 ,  H05B3/74 ,  H01L21/02 ,  H01L21/68

CPC classification number: H05B3/143 ,  H01L21/67103

Abstract: 本发明的加热装置具有加热基体(11)以及与该加热基体(11)接合的中空部件(13)，有效地防止在加热基体(11)和中空部件棒材(13)的接合界面产生裂纹。加热装置具备板状的加热基体(11)和一端面接合在该加热基体(11)的一个面上的中空部件(13)，加热基体(11)具有在与中空部件(13)的接合部附近、与该中空部件(13)的外周面(13b)成同一面的侧面部(11e)；以及与该侧面部(11e)连接的凹曲面部(11d)，加热基体(11)和中空部件(13)的接合界面的端部位于该加热基体(11)的侧面部(11e)和中空部件(13)的外周部(13b)之间。

公开(公告)号：CN100414668C

公开(公告)日：2008-08-27

申请号：CN200610115476.5

申请日：2006-08-10

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 冈岛久和 ,  后藤义信

IPC: H01L21/00

CPC classification number: H01L21/67103 ,  H01L21/67109

Abstract: 本发明提供的加热装置，可使从各气体路径的喷出口喷出的气体喷出量均匀，并减少反应膜的堆积。加热装置(100)包括：基体(10)，其具有形成了气体喷出口(12h)的基板加热面(10a)和供给气体的气体供给口(18)，由埋设有电阻发热体11的包含陶瓷的材料构成；气体路径(12)，其从气体供给口(18)连通到气体喷出口(12h)，在基体(10)内形成；以及调整部，其可变更气体路径(12)的截面积。

公开(公告)号：CN101043767A

公开(公告)日：2007-09-26

申请号：CN200710089471.4

申请日：2007-03-23

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 海野丰 ,  后藤义信

IPC: H05B3/06 ,  H05B3/20 ,  H05B3/74 ,  H01L21/02

CPC classification number: F27D3/0084 ,  F27D99/0006 ,  F27D2099/0008 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/68792

Abstract: 本发明的目的在于提供一种使陶瓷基体和轴的接合部切实具有高强度，由此提高制品生产率的加热装置。加热装置(1)在与埋设有电阻发热体(12)的陶瓷基体(11)的加热面(11a)相反侧的接合面上接合大致圆筒状的轴(21)，该轴(21)具有：在与上述陶瓷基体(11)的接合端部形成的凸缘部(21a)；以及，与该凸缘部(21a)连接的第一圆筒部(21b)，该凸缘部(21a)的接合部的内径D3和上述第一圆筒部(21b)的外径D1的比率D3/D1为92％以上。

公开(公告)号：CN101533798A

公开(公告)日：2009-09-16

申请号：CN200910127342.9

申请日：2009-03-10

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 后藤义信

IPC: H01L21/687 ,  H01L23/60 ,  H01L23/34

Abstract: 本发明涉及静电吸盘。本发明的静电吸盘在具备冷却装置和配置在上述冷却装置上且具有工件载置面的静电吸盘主体的半导体制造装置中使用，其特征在于：设有以贯穿上述冷却装置且从上述冷却装置的一个主面到达另一主面表面的方式延伸的气体供给孔，在上述气体供给孔的开口部设有直径比上述气体供给孔大的主沉孔部；在上述主沉孔部，埋入由设有与上述气体供给孔连通的气体流路的绝缘部件所构成的防电弧部件；在上述工件载置面，设有通过上述气体流路而与上述气体供给孔连通的细孔。

公开(公告)号：CN101277554A

公开(公告)日：2008-10-01

申请号：CN200810087859.5

申请日：2008-03-26

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 冈岛久和 ,  后藤义信

IPC: H05B3/20 ,  H05B3/06 ,  H01L21/00 ,  H01L21/687

CPC classification number: H05B3/283 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/68785 ,  H01L21/68792 ,  H05B2203/014

Abstract: 本发明涉及加热装置。在具有加热基体(11)和接合在该加热基体上的支撑部件(13)的加热装置中，有效地防止在加热基体(11)和支撑部件(13)的接合部附近产生裂纹。由陶瓷构成的加热装置具备：具有加热面(11a)的板状的加热基体(11)；以及接合在该加热基体(11)的背面(11b)上的中空筒状的支撑部件(13)。在加热基体(11)和支撑部件(13)的接合界面(14)的外端(14E)附近，形成将该加热基体(11)的背面(11b)和支撑部件(13)的外表面(13b)光滑地连接的凹曲面部(15)，凹曲面部(15)在包含支撑部件(13)的轴线的剖面中，具有短轴方向与支撑部件(13)的轴线方向平行的椭圆的圆弧曲线。

公开(公告)号：CN101043766A

公开(公告)日：2007-09-26

申请号：CN200710089122.2

申请日：2007-03-19

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 后藤义信 ,  冈岛久和

IPC: H05B3/06 ,  H05B3/20 ,  H05B3/74 ,  H01L21/02 ,  H01L21/68

CPC classification number: H05B3/143 ,  H01L21/67103

Abstract: 本发明的加热装置具有加热基体(11)以及与该加热基体(11)接合的中空部件(13)，有效地防止在加热基体(11)和中空部件棒材(13)的接合界面产生裂纹。加热装置具备板状的加热基体(11)和一端面接合在该加热基体(11)的一个面上的中空部件(13)，加热基体11具有在与中空部件(13)的接合部附近、与该中空部件(13)的外周面(13b)成同一面的侧面部(11e)；以及与该侧面部(11e)连接的凹曲面部(11d)，加热基体(11)和中空部件(13)的接合界面的端部位于该加热基体(11)的侧面部(11e)和中空部件(13)的外周部(13b)之间。

公开(公告)号：CN1856190A

公开(公告)日：2006-11-01

申请号：CN200610075826.X

申请日：2006-04-18

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 后藤义信 ,  鹤田英芳

IPC: H05B3/02 ,  H05B3/10

CPC classification number: H01L21/67103 ,  H05B3/143

Abstract: 本发明提供可提高装置的可靠性的供电部件以及使用了它的加热装置。该供电部件(100)具备：与供电对象连接的第1棒状部件(101)、与电源连接的第2棒状部件(103)、在第1棒状部件(101)与第2棒状部件(103)之间设置的根据第1棒状部件(101)与第2棒状部件(103)的因热膨胀产生的长方向的变形而沿长方向收缩的热膨胀吸收部件(102)。