公开(公告)号：CN117280609A

公开(公告)日：2023-12-22

申请号：CN202180013623.0

申请日：2021-11-19

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 山寺乔纮 ,  中山纱希

IPC: H03H9/25

Abstract: 本发明的课题在于，借助包含金属氧化物的接合层而将压电性材料基板牢固地接合在包含硅的支撑基板上，抑制压电性材料基板在加工时自支撑基板发生剥离。接合体5A具有：包含硅的支撑基板1、压电性材料基板4A、以及设置在支撑基板1的接合面1a上的接合层2，该接合层2包含金属氧化物。支撑基板1的接合面1a处的铝元素量为1.0×1011～1.0×1015atoms/cm2。

公开(公告)号：CN114731145A

公开(公告)日：2022-07-08

申请号：CN202080005715.X

申请日：2020-11-11

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 山寺乔纮 ,  中山纱希 ,  堀裕二

IPC: H03H9/02

Abstract: 本发明提供能够抑制无法通过对接合体的压电性材料基板或支撑基板的接合面的表面形状进行控制来加以抑制的寄生波的结构。接合体具备：支撑基板；压电性材料基板，其由选自由铌酸锂、钽酸锂以及铌酸锂－钽酸锂构成的组中的材质形成；以及接合层，其将支撑基板和压电性材料基板接合，并与压电性材料基板的主面接触。在利用椭圆偏振光谱法对所述支撑基板的接合面和所述压电性材料基板的接合面中的至少一者进行测定时，此时将反射光的p偏振光与s偏振光的相位差设为Δ时，在波长400nm至760nm之间的区域，所述相位差Δ的最大值与最小值之差为70°以下。