公开(公告)号：CN109937356B

公开(公告)日：2021-12-28

申请号：CN201780069423.0

申请日：2017-07-05

Applicant: 日本电波工业株式会社 ,  国立研究开发法人宇宙航空研究开发机构

Inventor： 茎田启行 ,  若松俊一 ,  塩原毅 ,  石川贵之 ,  宫崎英治 ,  土屋佑太

IPC: G01N5/04

Abstract: 本发明提供一种能提高使用晶体的物质检测精度的物质检测系统及物质检测方法。物质检测系统具有：参考晶振及检测用晶振，形成于单一的晶体基板；振荡电路模块，使参考晶振及检测用晶振以基波频率及三次谐波频率依次振荡；温度确定部，基于参考晶振及检测用晶振的至少任一个的基波频率相对于既定的基准基波频率的偏差、与三次谐波频率相对于既定的基准三次谐波频率的偏差之差值，来确定晶体基板的表面温度；以及物质确定部，基于频率测定部所测定的参考晶振的基波频率与检测用晶振的基波频率之差、和温度确定部所确定的温度，来确定附着于检测用晶振的污染物质从检测用晶振脱离的温度，并基于所述脱离的温度来确定所述污染物质。

公开(公告)号：CN109937356A

公开(公告)日：2019-06-25

申请号：CN201780069423.0

申请日：2017-07-05

Applicant: 日本电波工业株式会社 ,  国立研究开发法人宇宙航空研究开发机构

Inventor： 茎田启行 ,  若松俊一 ,  塩原毅 ,  石川贵之 ,  宫崎英治 ,  土屋佑太

IPC: G01N5/04

Abstract: 物质检测系统具有：参考晶振及检测用晶振，形成于单一的晶体基板；振荡电路模块，使参考晶振及检测用晶振以基波频率及三次谐波频率依次振荡；温度确定部，基于参考晶振及检测用晶振的至少任一个的基波频率相对于既定的基准基波频率的偏差、与三次谐波频率相对于既定的基准三次谐波频率的偏差之差值，来确定晶体基板的表面温度；以及物质确定部，基于频率测定部所测定的参考晶振的基波频率与检测用晶振的基波频率之差、和温度确定部所确定的温度，来确定附着于检测用晶振的污染物质从检测用晶振脱离的温度，并基于所述脱离的温度来确定所述污染物质。