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公开(公告)号：CN102904542B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201210228562.2
申请日：2012-07-02
Applicant: 日本电波工业株式会社
IPC: H03H9/02
CPC classification number: H03H9/131 , H03H3/02 , H03H9/02133 , H03H9/02157 , H03H9/1035 , H03H9/177 , H03H2003/021
Abstract: 本发明提供压电振动片以及压电元件，压电振动片包括激振部、框部以及连结部。激振部包含沿着第一方向延伸的第一边及沿着第二方向延伸的第二边，第二方向与第一方向正交。连结部在第三方向上的厚度为第一厚度，所述第三方向与第一方向及第二方向正交。激振部包含第一区域、第二区域以及第三区域。激振电极形成在第一区域。第二区域以第一厚度而直接连结于连结部。第三区域配置在第一区域与第二区域之间。而且在第三方向上的厚度为第二厚度，第二区域在第三方向上的厚度形成得比第二厚度更厚。
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公开(公告)号：CN102891659B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201210248856.1
申请日：2012-07-18
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: H03H9/132 , H03H3/04 , H03H9/02157 , H03H9/1035 , H03H9/177 , H03H2003/0428 , H03H2003/0478 , H03H2003/0485
Abstract: 本发明提供一种压电振动片、压电元件及压电元件的制造方法。压电振动片接合至、并夹于盖板与具有外部电极的基底板之间。压电振动片具有：位于盖板侧的第一主表面以及位于基底板侧的第二主表面。压电振动片包含：激振单元、第一激振电极、第二激振电极、框架部、一个连接部、第一引出电极以及第二引出电极。连接部包含：与两个主表面平行的平面，及与所述平面相交的侧面。第一引出电极是通过所述连接部而引出。第二引出电极是通过所述连接部而引出。第一引出电极是设置于所述连接部的侧面的至少一部分、以使第一引出电极被引出至所述框架部。
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公开(公告)号：CN103259504A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201310053809.6
申请日：2013-02-19
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: H01L41/047 , H03H9/0595 , H03H9/1035 , H03H2003/022 , H03H2003/0485 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种压电装置的制造方法及压电装置。压电装置的制造方法包括：接合工序(S131)，将压电晶片与第1晶片予以接合；以及准备工序(S132)，分别准备第1端子遮罩与第2端子遮罩，第1端子遮罩用于形成在底面上形成的电源用的及振动频率的输出用的一对热端子，第2端子遮罩用于形成一对热端子及接地用的接地端子。而且，制造方法包括：选择工序(S141)，在接合工序后，选择第1晶片的底面上的、第1端子遮罩的配置与第2端子遮罩的配置；以及形成工序(S142、S143、S144)，在选择工序后，经由第1端子遮罩而形成具有电源端子及输出端子的底面，或者，经由第2端子遮罩而形成具有电源端子、输出端子及接地端子的底面。
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公开(公告)号：CN102891659A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201210248856.1
申请日：2012-07-18
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: H03H9/132 , H03H3/04 , H03H9/02157 , H03H9/1035 , H03H9/177 , H03H2003/0428 , H03H2003/0478 , H03H2003/0485
Abstract: 本发明提供一种压电振动片、压电元件及压电元件的制造方法。压电振动片接合至、并夹于盖板与具有外部电极的基底板之间。压电振动片具有：位于盖板侧的第一主表面以及位于基底板侧的第二主表面。压电振动片包含：激振单元、第一激振电极、第二激振电极、框架部、一个连接部、第一引出电极以及第二引出电极。连接部包含：与两个主表面平行的平面，及与所述平面相交的侧面。第一引出电极是通过所述连接部而引出。第二引出电极是通过所述连接部而引出。第一引出电极是设置于所述连接部的侧面的至少一部分、以使第一引出电极被引出至所述框架部。
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公开(公告)号：CN102594280B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201110424495.7
申请日：2011-12-16
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: H03H9/177 , H03H3/02 , H03H9/0595 , H03H9/1035 , H03H9/19 , H03H2003/022
Abstract: 本发明涉及一种水晶装置，该水晶装置在框部的贯通部侧的侧面形成凸部，使得在不必要的部分不形成电极。该水晶装置包括：具有水晶振动部、框部及连结部的AT切割的水晶框架；以及在第一边侧及第二边侧具有外部电极的底部；在第三边上形成有第一平面、第二平面、第一斜面或第二斜面、以及包含第一斜面或第二斜面并向水晶振动部侧突出的凸部，在水晶框架的框部上具备：第一引出电极、从一对励振电极的另一个经由连结部和框部的第三边的第一平面及凸部的第一斜面或者框部的第三边的第二平面及凸部的第二斜面而与形成在底部的第二边侧的外部电极连接的第二引出电极。
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公开(公告)号：CN102457241B
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201110309756.0
申请日：2011-10-10
Applicant: 日本电波工业株式会社
Inventor： 高桥岳宽
CPC classification number: H03H9/1035
Abstract: 本发明提供引出电极形成在支撑部的侧面的压电装置。压电装置(100)具备：具有在第1主面(38a)及第2主面(38b)形成有一对励振电极(35a、35b)的振动片(31)、包围该振动片的框部(32)、在形成于振动片和框部之间的具有规定宽度的贯通槽部(34)上连接并支撑振动片和框部的支撑部(33)、以及从一对励振电极通过支撑部形成至框部的一对引出电极(36a、36b)的压电基板(30)；接合在第1主面的盖部(10)；以及包含接合在第2主面的底面(25a)和底面的相反侧的实装面的底部(20)。形成在第1主面的引出电极在不与振动片的励振电极重合的区域上通过规定宽度的贯通槽部的侧面延伸至第2主面。
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公开(公告)号：CN103457565A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310208437.X
申请日：2013-05-30
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: H01L41/053 , H03H9/1021 , H03H2003/022
Abstract: 本发明提供一种压电振动片以及压电装置，确保耐冲击性、抑制振动特性的变动。压电振动片（130）具有：矩形形状的振动部（131），以规定的振动频率而振动；框部（132），包围振动部的周围，且具有与振动部面对的内部侧面（138）；以及连结部（133），连结振动部与框部，且连结部连结于与振动部的短边面对的内部侧面，向振动部侧突出的突起（137）是形成于连结部所连结的内部侧面。
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公开(公告)号：CN103312289A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310080497.8
申请日：2013-03-13
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: G03F7/40 , H03H9/1014 , H03H9/1021 , H03H2003/022
Abstract: 本发明提供一种晶体装置及晶体装置的制造方法，在从基底板的中心算起的相等的距离处形成城堡形结构。晶体装置的制造方法包括：耐蚀膜形成工序，形成耐蚀膜；曝光工序，在耐蚀膜上形成光致抗蚀剂并进行曝光；耐蚀膜蚀刻工序，对耐蚀膜进行蚀刻；及湿式蚀刻工序，对贯穿孔进行湿式蚀刻。贯穿孔的+X轴侧的剖面具有：第1面侧的第1斜面、第2面侧的第2斜面、及第1斜面与第2斜面交叉的第1顶部。-X轴侧的剖面具有：第1面侧的第3斜面、第2面侧的第4斜面、及连结第3斜面与第4斜面的第2顶部，在曝光工序中，以从基底板的X轴方向的中心直至第1顶部为止及直至第2顶部为止的距离相同的方式，来对第1面及第2面进行曝光。
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公开(公告)号：CN102904542A
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201210228562.2
申请日：2012-07-02
Applicant: 日本电波工业株式会社
IPC: H03H9/02
CPC classification number: H03H9/131 , H03H3/02 , H03H9/02133 , H03H9/02157 , H03H9/1035 , H03H9/177 , H03H2003/021
Abstract: 本发明提供压电振动片以及压电元件，压电振动片包括激振部、框部以及连结部。激振部包含沿着第一方向延伸的第一边及沿着第二方向延伸的第二边，第二方向与第一方向正交。连结部在第三方向上的厚度为第一厚度，所述第三方向与第一方向及第二方向正交。激振部包含第一区域、第二区域以及第三区域。激振电极形成在第一区域。第二区域以第一厚度而直接连结于连结部。第三区域配置在第一区域与第二区域之间。而且在第三方向上的厚度为第二厚度，第二区域在第三方向上的厚度形成得比第二厚度更厚。
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公开(公告)号：CN102594280A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110424495.7
申请日：2011-12-16
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: H03H9/177 , H03H3/02 , H03H9/0595 , H03H9/1035 , H03H9/19 , H03H2003/022
Abstract: 本发明涉及一种水晶装置，该水晶装置在框部的贯通部侧的侧面形成凸部，使得在不必要的部分不形成电极。该水晶装置包括：具有水晶振动部、框部及连结部的AT切割的水晶框架；以及在第一边侧及第二边侧具有外部电极的底部；在第三边上形成有第一平面、第二平面、第一斜面或第二斜面、以及包含第一斜面或第二斜面并向水晶振动部侧突出的凸部，在水晶框架的框部上具备：第一引出电极、从一对励振电极的另一个经由连结部和框部的第三边的第一平面及凸部的第一斜面或者框部的第三边的第二平面及凸部的第二斜面而与形成在底部的第二边侧的外部电极连接的第二引出电极。
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