玻璃基板的制造方法以及玻璃基板的制造装置

    公开(公告)号:CN107709259B

    公开(公告)日:2020-07-31

    申请号:CN201680033810.4

    申请日:2016-09-09

    Abstract: 一种玻璃基板的制造方法,其在将从搬入口(2aa)搬入到腔室(2)内的玻璃基板(3)沿着水平方向搬运的同时,在腔室(2)内的玻璃基板(3)的搬运路径上设置的处理区域(4)中利用处理气体(5)实施蚀刻处理之后,从搬出口(2ab)向腔室(2)外搬出处理后的玻璃基板(3),在玻璃基板(3)的搬运路径上的搬入口(2aa)与处理区域(4)之间以及处理区域(4)与搬出口(2ab)之间,分别设置了形成有用于使搬运中的玻璃基板(3)通过的开口(12a)的防风构件(12)。

    玻璃基板的制造方法
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107635941B

    公开(公告)日:2020-04-07

    申请号:CN201680033716.9

    申请日:2016-09-09

    Abstract: 一种玻璃基板的制造方法,其在将从搬入口(2a)搬入到腔室(2)内的玻璃基板(3)沿着水平方向搬运的同时,在腔室(2)内的玻璃基板(3)的搬运路径上设置的处理区域(4)中利用处理气体(5)实施蚀刻处理之后,从搬出口(2b)向腔室(2)外搬出处理后的玻璃基板(3),其中,通过在搬入口(2a)以及搬出口(2b)各自的开口的上缘(2aa(2ba))侧和下缘(2ab(2bb))侧分别使开口宽度调节构件(8、9)移动,从而基于腔室(2)内外的气压差来调节搬入口(2a)以及搬出口(2b)各自的沿着上下方向的开口宽度。

    玻璃板的搬运装置及玻璃板的制造方法

    公开(公告)号:CN110573445A

    公开(公告)日:2019-12-13

    申请号:CN201880027667.7

    申请日:2018-04-10

    Abstract: 玻璃板的搬运装置(1)具备带式输送机(2)、引导用辊(3)、以及定位用辊(4)。带式输送机(2)以水平姿态搬入玻璃板(G),并以倾斜姿态(P2)搬出玻璃板(G)。引导用辊(3)从带式输送机(2)接收玻璃板(G)并沿着与搬运方向正交的方向引导该玻璃板(G)。定位用辊(4)与由引导用辊(3)引导的玻璃板(G)的端部抵接,对玻璃板(G)进行定位。定位后的玻璃板(G)从引导用辊(3)被移交至带式输送机(2)。

    玻璃基板的制造方法以及玻璃基板的制造装置

    公开(公告)号:CN107709259A

    公开(公告)日:2018-02-16

    申请号:CN201680033810.4

    申请日:2016-09-09

    Abstract: 一种玻璃基板的制造方法,其在将从搬入口(2aa)搬入到腔室(2)内的玻璃基板(3)沿着水平方向搬运的同时,在腔室(2)内的玻璃基板(3)的搬运路径上设置的处理区域(4)中利用处理气体(5)实施蚀刻处理之后,从搬出口(2ab)向腔室(2)外搬出处理后的玻璃基板(3),在玻璃基板(3)的搬运路径上的搬入口(2aa)与处理区域(4)之间以及处理区域(4)与搬出口(2ab)之间,分别设置了形成有用于使搬运中的玻璃基板(3)通过的开口(12a)的防风构件(12)。

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