公开(公告)号：CN1647228A

公开(公告)日：2005-07-27

申请号：CN03808111.3

申请日：2003-04-14

Applicant: 日本电气硝子株式会社

Inventor： 秋山茂彦 ,  桐畑义夫 ,  三国隆司 ,  洼坂卫

IPC: H01J9/42 ,  H01J29/86 ,  H01J31/10

CPC classification number: G01N29/28 ,  G01N29/07 ,  G01N2291/0232 ,  G01N2291/044 ,  G01N2291/2698 ,  Y10T428/131

Abstract: 使用超声波检测出在面板(1)的荧屏部分(2)中内部的缺陷(S)的大小以及深度。最好是由荧屏部分(2)的外表面(2a)侧开始向内表面(2b)侧发射超声波，并且通过在内表面(2b)侧接收反射回来的反射波，检测出内部缺陷(S)的大小和内部缺陷(S)距上述内表面(2a)的距离。而且在发射以及接收超声波的时候，超声波的荧屏部分(2)的外部的传播是以非压缩性流体作为媒介进行的。