-
公开(公告)号:CN102137820A
公开(公告)日:2011-07-27
申请号:CN200980134202.2
申请日:2009-08-21
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: C03B23/023 , C03C17/00 , C23C14/02 , G02B5/26 , G02B5/28
CPC classification number: C03B23/0252 , C03C17/002 , C03C17/3417 , C23C14/083 , C23C14/10 , G02B5/282
Abstract: 本发明提供一种带有薄膜的玻璃基板的制造方法,该制造方法能够容易地制造翘曲少的带有薄膜的玻璃基板。该制造方法进行变形工序和薄膜形成工序,在该变形工序中,通过使玻璃基板(10)塑性变形而将玻璃基板(10)的主面(10a)制成弯曲形状,以使薄膜形成后的最终状态下玻璃基板(10)的主面(10a)变为平坦;在薄膜形成工序中,在经塑性变形的玻璃基板(10)的主面(10a)上形成薄膜(11)。