测定装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115388810A

    公开(公告)日:2022-11-25

    申请号:CN202210577180.4

    申请日:2022-05-25

    Abstract: 本发明提供一种测定装置,其是光学单元的测定装置。光学单元包括光学元件和使光学元件摆动的摆动机构。测定装置具备支承部、驱动部和测定部。支承部支承光学单元。驱动部驱动摆动机构,使光学元件摆动。测定部测定光学元件的摆动角度。

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