气体传感器及气体传感器的制造方法

    公开(公告)号:CN119096140A

    公开(公告)日:2024-12-06

    申请号:CN202380034261.2

    申请日:2023-04-03

    Abstract: 本发明提供一种能够提高响应性的气体传感器。气体传感器(10)具备:电极部(50),具备1个以上的电极对(70),且第一电极(71)与第二电极(72)隔着间隙在第一方向上相向;及感应膜(60)。在将第一方向上的第一电极(71)与第二电极(72)之间的电极间距离和第一电极(71)的与第一方向正交的切断面处的电极面积之积设为电极间体积的情况下,由电压施加部(80)施加到电极部(50)的电压除以电极间体积而得到的商值大于4.2×1016V/m3且为2.0×1025V/m3以下。电极面积为2.5×10‑15m2以上。

    气体传感器和气体传感器的制造方法

    公开(公告)号:CN118265908A

    公开(公告)日:2024-06-28

    申请号:CN202380014472.X

    申请日:2023-04-03

    Abstract: 本发明提供一种能够提高响应性的气体传感器。气体传感器(10)包括:电极部(50),具备一个以上的具有第一电极(71)和第二电极(72)的电极对(70),在电极对(70)中第一电极(71)与第二电极(72)隔着间隙在第一方向上相对;感应膜(60),配置在电极对(70)中的第一电极(71)与第二电极(72)之间;及电压施加部(80),在第一电极(71)侧与第二电极(72)侧之间对电极部(50)施加电压。感应膜(60)是致密体。

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