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公开(公告)号：CN1237577C
公开(公告)日：2006-01-18
申请号：CN02102460.X
申请日：2002-01-22
Applicant: 日本派欧尼股份株式会社 , 住友电气工业株式会社
IPC: H01L21/205 , B01D53/74
CPC classification number: C30B25/02 , B01D53/58 , B01D53/77 , B01D2258/0216 , C23C14/0617 , C23C16/301 , C23C16/4401 , C23C16/4412 , C23C16/4488 , C30B29/406
Abstract: 公开了由HVPE法生产氮化镓膜半导体的生产设备、净化来自此设备中的废气的净化设备以及用于由HVPE法生产氮化镓膜半导体的综合生产装置。其中用于此生产设备中的废气排放管道、用于此净化设备中的导引管道以及连接这两个设备的排气管道均由导电性抗侵蚀材料制成也都电接地，因而能可靠地防止由于废气中的氯化铵粉末与排气管道内壁间的摩擦造成的静电充电，由此可以显著地提高作业的安全性。
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公开(公告)号：CN1367525A
公开(公告)日：2002-09-04
申请号：CN02102460.X
申请日：2002-01-22
Applicant: 日本派欧尼股份株式会社 , 住友电气工业株式会社
IPC: H01L21/205 , B01D53/74
CPC classification number: C30B25/02 , B01D53/58 , B01D53/77 , B01D2258/0216 , C23C14/0617 , C23C16/301 , C23C16/4401 , C23C16/4412 , C23C16/4488 , C30B29/406
Abstract: 公开了由HVPE法生产氮化镓膜半导体的生产设备、净化来自此设备中的废气的净化设备以及用于由HVPE法生产氮化镓膜半导体的综合生产装置。其中用于此生产设备中的废气排放管道、用于此净化设备中的导引管道以及连接这两个设备的排气管道均由导电性抗侵蚀材料制成也都电接地,因而能可靠地防止由于废气中的氯化铵粉末与排气管道内壁间的摩擦造成的静电充电,由此可以显著地提高作业的安全性。
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公开(公告)号：CN1213794C
公开(公告)日：2005-08-10
申请号：CN00137230.0
申请日：2000-11-30
Applicant: 日本派欧尼股份株式会社
IPC: B01D53/86
CPC classification number: B01D53/8668 , B01D2251/102
Abstract: 公开了一种有害气体的净化方法，该方法包括：将从使用有机金属化合物作反应原料的反应过程中排出的有害气体，与氧气或空气混合，然后在100℃-800℃的温度下，使混合物与通过在一种无机载体上附载一种贵金属得到的催化剂；含选自氧化钒、氧化铬、氧化锰、氧化铁、氧化铜、氧化银、氧化钴和氧化镍的至少一种金属氧化物的催化剂；或者在一种无机载体上附载该金属氧化物得到的催化剂接触，以净化该有害气体。同时，公开了一种该方法使用的装置。本发明能够确保以有效的方式净化有害气体，在将有害气体净化后，没有排出有机化合物和大量的二氧化碳，不需要后处理。
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公开(公告)号：CN1316290A
公开(公告)日：2001-10-10
申请号：CN00137230.0
申请日：2000-11-30
Applicant: 日本派欧尼股份株式会社
IPC: B01D53/86
CPC classification number: B01D53/8668 , B01D2251/102
Abstract: 公开了一种有害气体的净化方法，该方法包括：将从使用有机金属化合物作反应原料的反应过程中排出的有害气体，与氧气或空气混合，然后在100℃－800℃的温度下，使混合物与通过在一种无机载体上附载一种贵金属得到的催化剂；含选自氧化钒、氧化铬、氧化锰、氧化铁、氧化铜、氧化银、氧化钴和氧化镍的至少一种金属氧化物的催化剂；或者在一种无机载体上附载该金属氧化物得到的催化剂接触，以净化该有害气体。同时，公开了一种该方法使用的装置。本发明能够确保以有效的方式净化有害气体，在将有害气体净化后，没有排出有机化合物和大量的二氧化碳，不需要后处理。
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