公开(公告)号：CN118425198A

公开(公告)日：2024-08-02

申请号：CN202311331783.7

申请日：2023-10-13

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 松原哲

IPC: G01N23/04

Abstract: 本发明提供X射线透射检查装置和X射线透射检查方法，能得到照射角度差异大的透射像，能高精度地得到异物位置的进深。X射线透射检查装置具备：X射线源，其对试样照射X射线；X射线传感器，其相对于试样设置于X射线源的相反侧，检测X射线透过试样时的透射X射线；试样移动机构，其使试样向特定的输送方向移动；以及运算部，其基于由X射线传感器检测到的透射X射线来计算试样中异物在厚度方向上的高度位置，X射线源和X射线传感器以彼此一一对应的组合设置有多个对，多个对中的各X射线源相对于试样的厚度方向以彼此不同的照射角度对试样照射X射线，多个对中的各X射线传感器配置为仅能够检测从对应的X射线源照射的X射线的透射X射线。

公开(公告)号：CN118425197A

公开(公告)日：2024-08-02

申请号：CN202311265822.8

申请日：2023-09-27

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 松原哲

IPC: G01N23/04

Abstract: 本发明提供X射线透射检查装置及X射线透射检查方法，能够更高精度地求出异物的大小(平面面积)。具备：X射线源，其对试样照射X射线；X射线传感器，其相对于试样设置于与X射线源相反的一侧，检测X射线透射试样时的透射X射线；以及运算部，其基于由X射线传感器检测出的透射X射线来计算试样中的异物的平面面积，运算部根据透射X射线的亮度求出在与X射线的照射方向垂直的面上分为多个像素的亮度分布，计算亮度降低量为亮度降低量阈值R1以上的像素的数量作为有效像素数，基于有效像素数来计算异物的平面面积，亮度降低量阈值R1相对于亮度分布中亮度降低量最大的最大亮度降低量为规定的比例。

公开(公告)号：CN117147598A

公开(公告)日：2023-12-01

申请号：CN202310102988.1

申请日：2023-02-10

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 高原稔幸 ,  佐藤恒郎 ,  松原哲 ,  关雄太 ,  岩田寿哉

IPC: G01N23/083 ,  G01V5/00

Abstract: 提供X射线检查装置以及X射线检查方法，即使是具有正极材料的涂布部和未涂布部的试样，也能够在相同的条件下同时对双方的部分进行异物检查。具备：X射线源(2)，其对试样(S)照射X射线(X1)；X射线检测部(3)，其相对于试样设置于与X射线源相反的一侧，检测透过了试样的X射线；以及滤波器(4)，其设置于X射线源与X射线检测部之间，试样具有X射线吸收量相对多的区域和X射线吸收量相对少的区域，滤波器由如下材料构成，该材料使得透过了X射线吸收量多的区域的X射线与透过了X射线吸收量少的区域的X射线的强度比比未设置滤波器的状态小。

公开(公告)号：CN118425196A

公开(公告)日：2024-08-02

申请号：CN202311541073.7

申请日：2023-11-17

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 松原哲

IPC: G01N23/02

Abstract: 本发明提供X射线透射检查装置和X射线透射检查方法，能得到照射角度差异大的透射像，能高精度地得到异物位置的进深。X射线透射检查装置具备：X射线源；X射线传感器，检测X射线；移动机构，使试样相对于X射线源和X射线传感器相对移动；和运算部，基于检测到的透射X射线计算试样中异物在厚度方向上的高度位置，X射线源向相对于试样的厚度方向和试样的输送方向倾斜的方向照射X射线，移动机构能使试样向第一输送方向移动并能使试样向与第一输送方向相反的第二输送方向移动，能使X射线源和X射线传感器与试样相对移动来变更使试样向第一输送方向移动时X射线对试样的照射角度及使试样向第二输送方向移动时X射线对试样的照射角度。

公开(公告)号：CN117148461A

公开(公告)日：2023-12-01

申请号：CN202310122246.5

申请日：2023-02-15

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 高原稔幸 ,  佐藤恒郎 ,  松原哲 ,  关雄太 ,  岩田寿哉

IPC: G01V5/00 ,  G01N23/04

Abstract: 提供一种X射线检查装置以及X射线检查方法，即使是有可能产生翘曲、挠曲、起伏的试样，也能够准确地进行异物检查。具备：X射线源(2)，其对试样(S)照射X射线(X1)；X射线检测部(3)，其相对于试样设置于与X射线源相反的一侧，检测透过了试样的X射线；以及试样支承机构(14)，其支承试样，试样为具有挠性的膜状，试样支承机构具备紧贴着试样中的至少配置于X射线源与X射线检测部之间的部分而对该部分进行支承的、能够使X射线透过的支承体(4)。