电路基板、制造电路图案的方法、及蚀刻装置

    公开(公告)号:CN118743318A

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202380022431.5

    申请日:2023-02-17

    Abstract: 本发明提供一种电路基板、电路基板的制造方法、及蚀刻装置,其中即便在对厚度厚的工件进行蚀刻的情况下也可抑制侧蚀,另外也可抑制节拍时间。蚀刻装置(1A)包括:搬送部件,搬送工件(W);喷雾管(3),沿着搬送部件对工件(W)的搬送方向延伸并送给蚀刻液;多个喷雾喷嘴(2),能够对工件(W)喷射蚀刻液,且在搬送方向上成列地设置于喷雾管(3);以及移动部件,能够使喷雾管(3)相对于与搬送方向正交的搬送正交方向移动,且以从喷雾喷嘴(2)喷射出的蚀刻液被吹附至工件(W)的规定区域的搬送正交方向整个区域的方式使喷雾管(3)移动。

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