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发明公开
探针卡审中-实审

公开(公告)号：CN115244408A

公开(公告)日：2022-10-25

申请号：CN202180019402.4

申请日：2021-03-02

Applicant: 日本发条株式会社

Inventor： 西胁成彦 , 高桥雅宏 , 相马一也 , 庄司哲 , 高桥秀志

IPC: G01R1/073 , H01L21/66

Abstract: 本发明的探针卡用于电连接检测对象与产生检测用信号的电路，且包括：导电性的多个接触探针；探头，其容置所述多个接触探针，以使所述多个接触探针的一端能够相对于外部进退；层叠构件，其设置于探头的接触探针朝外部延伸的一侧的相反侧，并层叠于探头上；以及紧固构件，其具有螺丝和螺母，用于紧固探头与层叠构件，其中，螺丝具有头部、以及插入于探头和层叠构件中的轴部，轴部固定于探头中，并且在头部侧的相反侧的端部侧与螺母螺合，来紧固探头与层叠构件。

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