被冷却部件的冷却方法及冷却装置

    公开(公告)号:CN114616350A

    公开(公告)日:2022-06-10

    申请号:CN202080073643.2

    申请日:2020-10-14

    Abstract: 本发明涉及使用冷却装置冷却被冷却部件的冷却方法,冷却装置具有:多个喷射嘴,其向加热了的被冷却部件喷射液滴组,用于对被冷却部件进行冷却;喷射调整部;以及控制液滴的喷射的控制部,控制部对应于设定值,使液滴组的喷射呈脉冲状并重复进行脉冲的喷射,控制液滴组的喷射,冷却方法以脉冲状向加热了的被冷却部件重复喷射液滴组,对被冷却部件进行冷却,使脉冲的大小、脉冲宽度、脉冲间隔中的至少一者随时间经过而变化。

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