公开(公告)号：CN1745332A

公开(公告)日：2006-03-08

申请号：CN200480003228.0

申请日：2004-01-29

Applicant: 日本写真印刷株式会社

Inventor： 肆矢健二 ,  桥村康广 ,  赤井隆广 ,  奥田敏章 ,  佐藤浩二

IPC: G02F1/1337 ,  H05B3/68 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供一种加热装置。该加热装置(101)具有对被加热基板(10)进行辐射加热的加热板(2)、升降销(5)和接近销(11)，该升降销(5)可升降地配置于形成在上述加热板的贯通孔(6)中，上述接近销(11)固定在上述加热板上，在加热上述被加热基板时保持上述被加热基板，使其与上述加热板之间具有间隔，在上述加热板的上述接近销的周围或上述贯通孔的周围备有降低辐射热的减热部(13、7)。

公开(公告)号：CN100430803C

公开(公告)日：2008-11-05

申请号：CN200480003228.0

申请日：2004-01-29

Applicant: 日本写真印刷株式会社

Inventor： 肆矢健二 ,  桥村康广 ,  赤井隆广 ,  奥田敏章 ,  佐藤浩二

IPC: G02F1/1337 ,  H05B3/68

Abstract: 本发明提供一种加热装置。该加热装置(101)具有对被加热基板(10)进行辐射加热的加热板(2)、升降销(5)和接近销(11)，该升降销(5)可升降地配置于形成在上述加热板的贯通孔(6)中，上述接近销(11)固定在上述加热板上，在加热上述被加热基板时保持上述被加热基板，使其与上述加热板之间具有间隔，在上述加热板的上述接近销的周围或上述贯通孔的周围备有降低辐射热的减热部(13、7)。