公开(公告)号：CN112153761B

公开(公告)日：2024-01-09

申请号：CN202010355827.X

申请日：2020-04-29

Applicant: 日新离子机器株式会社 ,  姫路理化股份有限公司

Inventor： 小野田正敏 ,  后藤亮介 ,  清水一男 ,  岸本康広

IPC: H05B3/02 ,  H05B3/44 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明提供加热装置，能够将加热器(30)插入真空腔室内并抑制由于电热丝(32)的光而端子部(33)被加热。一种加热装置，对基板(W)进行加热，具备收纳基板(W)的真空腔室(S2)以及插入真空腔室(S2)的内部的加热器(30)，加热器腔室(S2)的壁部设置；电热丝(32)，收纳在管状体(31)的内部，并且至少一部分配置在真空腔室(S2)内；以及端子部(33)，与电热丝(32)连接，端子部(33)配置在真空腔室(S2)的外部。(30)具有：管状体(31)，贯通配置基板(W)的真空

公开(公告)号：CN112153761A

公开(公告)日：2020-12-29

申请号：CN202010355827.X

申请日：2020-04-29

Applicant: 日新离子机器株式会社 ,  姫路理化股份有限公司

Inventor： 小野田正敏 ,  后藤亮介 ,  清水一男 ,  岸本康広

IPC: H05B3/02 ,  H05B3/44 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明提供加热装置，能够将加热器(30)插入真空腔室内并抑制由于电热丝(32)的光而端子部(33)被加热。一种加热装置，对基板(W)进行加热，具备收纳基板(W)的真空腔室(S2)以及插入真空腔室(S2)的内部的加热器(30)，加热器(30)具有：管状体(31)，贯通配置基板(W)的真空腔室(S2)的壁部设置；电热丝(32)，收纳在管状体(31)的内部，并且至少一部分配置在真空腔室(S2)内；以及端子部(33)，与电热丝(32)连接，端子部(33)配置在真空腔室(S2)的外部。