-
公开(公告)号：CN103021772B
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201210205880.7
申请日：2012-06-18
Applicant: 日新离子机器株式会社
Abstract: 本发明提供一种电极框体以及具备该电极框体的带电粒子束发生装置，所述带电粒子束发生装置具备由所述电极框体构成的引出电极，所述电极框体及所述带电粒子束发生装置能够改善更换形成狭缝状开口部的电极棒时的工作效率。电极框体（2）构成带电粒子束引出用的电极，具有使带电粒子束通过的开口部（3）。从一个方向观察电极框体（2）时，在电极框体（2）的开口部（3）周围的一部分上形成有电极棒支承部（7），该电极棒支承部（7）支承横跨开口部（3）配置的电极棒（5）的两端。此外，带电粒子束发生装置具备由所述电极框体（2）构成的引出电极。
-
公开(公告)号：CN102867717B
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201210057513.7
申请日：2012-03-06
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J27/02
Abstract: 本发明提供防着板支承部件及具有该防着板支承部件的离子源，能提高将防着板向等离子体生成容器安装及将防着板从等离子体生成容器拆下时的工作效率。防着板支承部件(15)配置在等离子体处理装置及离子束照射装置中所使用的等离子体生成容器(4)内，具有至少一部分与等离子体生成容器(4)的内壁抵接的主体部(16)及从主体部(16)延伸设置的端部(17)，在将防着板支承部件(15)组装在等离子体生成容器(4)上时，端部(17)从等离子体生成容器(4)的内壁离开。
-
公开(公告)号：CN102683143B
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201110305123.2
申请日：2011-10-10
Applicant: 日新离子机器株式会社
Abstract: 本发明提供狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置，当带电粒子束发生装置运转时，使狭缝状开口部的形状难以发生热变形。本发明的狭缝电极(20)包括：电极框体(21)，具有开口部(22)；以及多根电极棒(23)，在长度方向上以能够相对于所述电极框体(21)移动的方式支承于所述电极框体(21)，并且沿与长度方向大致垂直相交的方向并列设置在开口部(22)上。至少在电极框体(21)的开口部(22)外周区域的一部分上设置有制冷剂流路(R)，该制冷剂流路(R)包括：制冷剂流入口(RIN)，使制冷剂流入电极框体(21)；以及制冷剂流出口(ROUT)，使制冷剂从电极框体(21)流出。
-
公开(公告)号：CN103021772A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210205880.7
申请日：2012-06-18
Applicant: 日新离子机器株式会社
Abstract: 本发明提供一种电极框体以及具备该电极框体的带电粒子束发生装置，所述带电粒子束发生装置具备由所述电极框体构成的引出电极，所述电极框体及所述带电粒子束发生装置能够改善更换形成狭缝状开口部的电极棒时的工作效率。电极框体（2）构成带电粒子束引出用的电极，具有使带电粒子束通过的开口部（3）。从一个方向观察电极框体（2）时，在电极框体（2）的开口部（3）周围的一部分上形成有电极棒支承部（7），该电极棒支承部（7）支承横跨开口部（3）配置的电极棒（5）的两端。此外，带电粒子束发生装置具备由所述电极框体（2）构成的引出电极。
-
公开(公告)号：CN102683143A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201110305123.2
申请日：2011-10-10
Applicant: 日新离子机器株式会社
Abstract: 本发明提供狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置，当带电粒子束发生装置运转时，使狭缝状开口部的形状难以发生热变形。本发明的狭缝电极(20)包括：电极框体(21)，具有开口部(22)；以及多根电极棒(23)，在长度方向上以能够相对于所述电极框体(21)移动的方式支承于所述电极框体(21)，并且沿与长度方向大致垂直相交的方向并列设置在开口部(22)上。至少在电极框体(21)的开口部(22)外周区域的一部分上设置有制冷剂流路(R)，该制冷剂流路(R)包括：制冷剂流入口(RIN)，使制冷剂流入电极框体(21)；以及制冷剂流出口(ROUT)，使制冷剂从电极框体(21)流出。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103779155B
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201310251929.7
申请日：2013-06-24
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J27/02
Abstract: 本发明提供一种等离子体源，能使防着板的交换周期延长、能提高等离子体源的运转率。等离子体源（1）包括：等离子体生成容器（2），具有冷却机构，生成等离子体用的气体导入其内部；防着板（5），配置在所述等离子体生成容器（2）的内侧；多个永磁体（3），配置在所述等离子体生成容器（2）的外侧，用于生成会切磁场；并且包括磁体（4），在等离子体生成容器（2）的内侧，在隔着等离子体生成容器（2）的壁面与永磁体（3）相对的位置，以与等离子体生成容器（2）的内壁面抵接的方式配置于等离子体生成容器（2）的内壁面。
-
公开(公告)号：CN103094027B
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201210208305.2
申请日：2012-06-19
Applicant: 日新离子机器株式会社
Abstract: 本发明提供一种引出电极系统及狭缝电极，在具有多个狭缝电极的离子源中，引出电流量和控制性取得平衡的离子束。所述的离子源（1）具有多个狭缝电极（7）～（10）作为引出电极系统。狭缝电极（7）～（10）包括具有开口部（15）的电极框体（14）、以及在开口部（15）内排列设置的多个电极棒（16），在构成沿从离子源（1）发生的离子束（2）的行进方向位于最上游的狭缝电极（7）的电极棒（16）中，在相邻的电极棒（16）之间形成的狭缝状开口部（17）的形状沿着离子束（2）的行进方向呈大致锥台形。
-
公开(公告)号：CN103779155A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201310251929.7
申请日：2013-06-24
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J27/02
Abstract: 本发明提供一种等离子体源，能使防着板的交换周期延长、能提高等离子体源的运转率。等离子体源（1）包括：等离子体生成容器（2），具有冷却机构，生成等离子体用的气体导入其内部；防着板（5），配置在所述等离子体生成容器（2）的内侧；多个永磁体（3），配置在所述等离子体生成容器（2）的外侧，用于生成会切磁场；并且包括磁体（4），在等离子体生成容器（2）的内侧，在隔着等离子体生成容器（2）的壁面与永磁体（3）相对的位置，以与等离子体生成容器（2）的内壁面抵接的方式配置于等离子体生成容器（2）的内壁面。
-
公开(公告)号：CN103094027A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201210208305.2
申请日：2012-06-19
Applicant: 日新离子机器株式会社
Abstract: 本发明提供一种引出电极系统及狭缝电极，在具有多个狭缝电极的离子源中，引出电流量和控制性取得平衡的离子束。所述的离子源（1）具有多个狭缝电极（7）～（10）作为引出电极系统。狭缝电极（7）～（10）包括具有开口部（15）的电极框体（14）、以及在开口部（15）内排列设置的多个电极棒（16），在构成沿从离子源（1）发生的离子束（2）的行进方向位于最上游的狭缝电极（7）的电极棒（16）中，在相邻的电极棒（16）之间形成的狭缝状开口部（17）的形状沿着离子束（2）的行进方向呈大致锥台形。
-
公开(公告)号：CN102867717A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201210057513.7
申请日：2012-03-06
Applicant: 日新离子机器株式会社
IPC: H01J27/02
Abstract: 本发明提供防着板支承部件及具有该防着板支承部件的离子源，能提高将防着板向等离子体生成容器安装及将防着板从等离子体生成容器拆下时的工作效率。防着板支承部件(15)配置在等离子体处理装置及离子束照射装置中所使用的等离子体生成容器(4)内，具有至少一部分与等离子体生成容器(4)的内壁抵接的主体部(16)及从主体部(16)延伸设置的端部(17)，在将防着板支承部件(15)组装在等离子体生成容器(4)上时，端部(17)从等离子体生成容器(4)的内壁离开。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
10
records
(took 0.026 seconds)
