公开(公告)号：CN1495282A

公开(公告)日：2004-05-12

申请号：CN03178688.X

申请日：2003-07-22

Applicant: 日新电机株式会社 ,  日本ITF株式会社

Inventor： 入泽一彦 ,  簗岛英夫 ,  瀬户山诚

IPC: C23C14/34

CPC classification number: H01J37/32055 ,  C23C14/325 ,  H01J37/32009

Abstract: 本发明公开了一种真空电弧沉积设备，组成该沉积设备的电弧蒸发源具有多个阴极、一触发电极、一触发驱动单元、一挡板、以及一挡板驱动单元。触发驱动单元可变换触发电极的位置，从而将其定位在某个所需阴极的前方，并使触发电极在该已变换位置上与所需阴极接触/脱离。挡板遮挡着除所需阴极之外其它所有阴极的前方。挡板驱动单元使挡板移动，从而可变换未被挡板遮挡着的阴极。另外，该真空电弧沉积设备还具有一变换控制单元，用于对挡板驱动单元和触发驱动单元进行控制，由此可变换未被挡板遮挡着的阴极，并将触发电极定位在未被挡板遮挡着的阴极之前。

公开(公告)号：CN100497724C

公开(公告)日：2009-06-10

申请号：CN03178688.X

申请日：2003-07-22

Applicant: 日新电机株式会社 ,  日本ITF株式会社

Inventor： 入泽一彦 ,  簗岛英夫 ,  瀬户山诚

IPC: C23C14/34

CPC classification number: H01J37/32055 ,  C23C14/325 ,  H01J37/32009

Abstract: 本发明公开了一种真空电弧沉积设备，组成该沉积设备的电弧蒸发源具有多个阴极、一触发电极、一触发驱动单元、一挡板、以及一挡板驱动单元。触发驱动单元可变换触发电极的位置，从而将其定位在某个所需阴极的前方，并使触发电极在该已变换位置上与所需阴极接触/脱离。挡板遮挡着除所需阴极之外其它所有阴极的前方。挡板驱动单元使挡板移动，从而可变换未被挡板遮挡着的阴极。另外，该真空电弧沉积设备还具有一变换控制单元，用于对挡板驱动单元和触发驱动单元进行控制，由此可变换未被挡板遮挡着的阴极，并将触发电极定位在未被挡板遮挡着的阴极之前。