-
公开(公告)号:CN109690272B
公开(公告)日:2020-10-30
申请号:CN201780053481.4
申请日:2017-08-24
Applicant: 日写株式会社
IPC: G01L5/00
Abstract: 本发明提供一种具有相互隔开间隙地配置的多个电极的压力传感器,其扩大了能够正确地测定的压力测定范围。压力传感器(1)具备公共电极(9)、多个独立电极(31)、多个薄膜晶体管(33)和压敏层(11)。公共电极(9)在一个面上扩展而形成。多个独立电极(31)与公共电极(9)对向地设置成矩阵状。多个薄膜晶体管(30)与多个独立电极(31)对应地设置在多个独立电极(31)的与公共电极(9)相反的一侧,一个或者相邻的两个以上的薄膜晶体管(30)与一个独立电极(31)连接。压敏层(11)被层叠在公共电极(9)的多个独立电极(31)侧的面上。多个独立电极(31)包括第一电极(31X)和第二电极(31Y),该第二电极(31Y)比第一电极(31X)厚因而与压敏层(11)的间隙比第一电极(31X)短。
-
公开(公告)号:CN109791080B
公开(公告)日:2021-01-08
申请号:CN201780053474.4
申请日:2017-08-29
Applicant: 日写株式会社
Inventor: 滩秀明
Abstract: 本发明提供一种具有相互隔开间隙地配置的多个电极的压力传感器,其扩大了能够正确地测定的压力测定范围。压力传感器(1)具备公共电极(9)、多个敏化电极(31)、多个山型压敏层(33)和多个薄膜晶体管(30)。公共电极(9)在一个面上扩展而形成。多个敏化电极(31)与公共电极(9)对向地设置成矩阵状。多个山型压敏层(33)分别形成在多个敏化电极(31)的公共电极(9)侧。在通过按压力从公共电极(9)朝向山型压敏层(33)以及敏化电极(31)作用,从而公共电极(9)与山型压敏层(33)接触的接触面从山型压敏层(33)的俯视中心部向外侧扩展时,敏化电极(31)与接触面的外缘的距离逐渐变短。
-
公开(公告)号:CN109791080A
公开(公告)日:2019-05-21
申请号:CN201780053474.4
申请日:2017-08-29
Applicant: 日写株式会社
Inventor: 滩秀明
Abstract: 本发明提供一种具有相互隔开间隙地配置的多个电极的压力传感器,其扩大了能够正确地测定的压力测定范围。压力传感器(1)具备公共电极(9)、多个敏化电极(31)、多个山型压敏层(33)和多个薄膜晶体管(30)。公共电极(9)在一个面上扩展而形成。多个敏化电极(31)与公共电极(9)对向地设置成矩阵状。多个山型压敏层(33)分别形成在多个敏化电极(31)的公共电极(9)侧。在通过按压力从公共电极(9)朝向山型压敏层(33)以及敏化电极(31)作用,从而公共电极(9)与山型压敏层(33)接触的接触面从山型压敏层(33)的俯视中心部向外侧扩展时,敏化电极(31)与接触面的外缘的距离逐渐变短。
-
公开(公告)号:CN109690272A
公开(公告)日:2019-04-26
申请号:CN201780053481.4
申请日:2017-08-24
Applicant: 日写株式会社
IPC: G01L5/00
Abstract: 本发明提供一种具有相互隔开间隙地配置的多个电极的压力传感器,其扩大了能够正确地测定的压力测定范围。压力传感器(1)具备公共电极(9)、多个独立电极(31)、多个薄膜晶体管(33)和压敏层(11)。公共电极(9)在一个面上扩展而形成。多个独立电极(31)与公共电极(9)对向地设置成矩阵状。多个薄膜晶体管(30)与多个独立电极(31)对应地设置在多个独立电极(31)的与公共电极(9)相反的一侧,一个或者相邻的两个以上的薄膜晶体管(30)与一个独立电极(31)连接。压敏层(11)被层叠在公共电极(9)的多个独立电极(31)侧的面上。多个独立电极(31)包括第一电极(31X)和第二电极(31Y),该第二电极(31Y)比第一电极(31X)厚因而与压敏层(11)的间隙比第一电极(31X)短。
-
-
-