层叠体、剥离剂组合物以及经加工的半导体基板的制造方法

    公开(公告)号:CN118160066A

    公开(公告)日:2024-06-07

    申请号:CN202280072282.9

    申请日:2022-10-07

    Abstract: 一种层叠体,其具有:半导体基板、透光性的支承基板、以及设于所述半导体基板与所述支承基板之间的粘接层和剥离层,所述层叠体用于:在所述剥离层吸收了从所述支承基板侧照射的光后所述半导体基板与所述支承基板分离,所述剥离层是由剥离剂组合物形成的层,所述剥离剂组合物含有分子量为2000以下的光吸收性化合物,在对所述光吸收性化合物测定出250nm~800nm的范围的吸收光谱时,所述吸收光谱在250nm~800nm的范围内在250nm~350nm之间具有吸光度最大的极大值。

    层叠体、剥离剂组合物以及经加工的半导体基板的制造方法

    公开(公告)号:CN117083697A

    公开(公告)日:2023-11-17

    申请号:CN202280025525.3

    申请日:2022-03-24

    Abstract: 本发明涉及一种层叠体,其特征在于,具有:半导体基板、透光性的支承基板、以及设于所述半导体基板与所述支承基板之间的粘接层和剥离层,所述层叠体用于:在所述剥离层吸收了从所述支承基板侧照射的光后所述半导体基板与所述支承基板剥离,所述剥离层是由剥离剂组合物形成的层,所述剥离剂组合物含有具有第一结构和作为第二结构的硅氧烷结构的化合物,所述第一结构是吸收所述光的结构,并且通过吸收所述光而有助于所述半导体基板与所述支承基板变得容易剥离。

    层叠体、层叠体的制造方法以及半导体基板的制造方法

    公开(公告)号:CN116508132A

    公开(公告)日:2023-07-28

    申请号:CN202180079636.8

    申请日:2021-11-26

    Abstract: 一种层叠体,具有:支承基板;半导体基板,在所述支承基板侧具有凸块;无机材料层,介于所述支承基板与所述半导体基板之间,且与所述半导体基板相接;以及粘接层,介于所述支承基板与所述无机材料层之间,且与所述支承基板和所述无机材料层相接,所述层叠体用于在所述层叠体中的所述半导体基板的加工后使所述支承基板与所述半导体基板分离的用途,所述支承基板与所述半导体基板分离时的、所述无机材料层与所述粘接层的粘接力小于所述无机材料层与所述半导体基板的粘接力。

    光照射剥离用的剥离剂组合物
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119404297A

    公开(公告)日:2025-02-07

    申请号:CN202380048240.6

    申请日:2023-06-13

    Abstract: 提供一种剥离剂组合物,其用于形成在如下层叠体中的如下剥离剂层,所述层叠体在半导体基板或电子器件层的加工时,能将支承基板与该半导体基板或该电子器件层牢固地粘接,并且在基板加工后,能通过光照射将支承基板与该半导体基板或该电子器件层容易地分离,所述剥离剂层是用于该层叠体的、能通过光照射而剥离的剥离剂层,所述剥离剂组合物含有水溶剂。一种光照射剥离用的剥离剂组合物,其用于形成如下层叠体的下述剥离剂层,所述层叠体具有:半导体基板或电子器件层、透光性的支承基板以及设于所述半导体基板或所述电子器件层与所述支承基板之间的剥离剂层,所述电子器件层包括多个半导体芯片基板和配置于所述半导体芯片基板间的密封树脂,并且所述层叠体用于:在所述剥离剂层吸收了从所述支承基板侧照射的光后所述半导体基板或所述电子器件层与所述支承基板剥离,所述剥离剂组合物含有:光吸收化合物和溶剂,所述光吸收化合物通过吸收所述光而有助于所述半导体基板或所述电子器件层与所述支承基板变得容易剥离,该溶剂含有水。

    层叠体的制造方法和粘接剂组合物的套组

    公开(公告)号:CN117716475A

    公开(公告)日:2024-03-15

    申请号:CN202280051910.5

    申请日:2022-07-14

    Abstract: 一种层叠体的制造方法,其包括:在支承基板的表面形成第一粘接剂涂布层的工序;在半导体基板的表面形成第二粘接剂涂布层的工序;以及进行第一粘接剂涂布层与第二粘接剂涂布层的贴合和加热,由第一粘接剂涂布层和第二粘接剂涂布层形成粘接层的工序,第一粘接剂涂布层由第一粘接剂组合物形成,第二粘接剂涂布层由第二粘接剂组合物形成,第一粘接剂组合物和第二粘接剂组合物中的一者含有第一热固化成分和在催化剂存在下与第一热固化成分反应的第二热固化成分,另一者含有催化剂,第一粘接剂组合物和第二粘接剂组合物中的至少任意者含有剥离剂成分。

    层叠体、剥离剂组合物以及经加工的半导体基板的制造方法

    公开(公告)号:CN117157738A

    公开(公告)日:2023-12-01

    申请号:CN202280025070.5

    申请日:2022-03-24

    Abstract: 本发明涉及一种层叠体,其具有:半导体基板、透光性的支承基板、以及设于所述半导体基板与所述支承基板之间的粘接层和剥离层,所述层叠体用于:在所述剥离层吸收了从所述支承基板侧照射的光后所述半导体基板与所述支承基板剥离,所述剥离层是由剥离剂组合物形成的层,所述剥离剂组合物含有具有第一结构和作为第二结构的硅氧烷结构的化合物,所述第一结构是吸收所述光的结构,通过吸收所述光而有助于所述半导体基板与所述支承基板变得容易剥离,并且具有构成π电子共轭体系的两个以上芳香族环。

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