公开(公告)号：CN118871775A

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202380030286.5

申请日：2023-01-18

Applicant: 日东电工株式会社

Inventor： 村上洋介 ,  山下裕司 ,  堤清贵 ,  神丸刚 ,  深见空斗

IPC: G01N21/892 ,  G02B5/30 ,  G01B11/30

Abstract: [课题]提供一种充分查明片材状产品的缺陷产生的原因，充分有助于片材状产品的成品率提高的缺陷的产生倾向分析方法。[解决方法]本发明为一种基于将长胶片的原卷S1切断等而制造的多个片材状产品S2上产生的缺陷，分析缺陷的产生相关的倾向的方法，该方法具备：工序ST11，在对于切断前的原卷S1等，以位置信息标识M分别存在于多个片材状产品中的每一个的方式标记位置信息标识M，该位置信息标识M表示原卷中的长度方向以及宽度方向的位置信息；工序ST12；读取工序ST13，通过读取标记在片材状产品上的位置信息标识，获取片材状产品在原卷中的位置信息；以及工序ST14，确定存在于片材状产品上的缺陷在原卷中的位置信息，基于所确定的位置信息，分析缺陷的产生相关的倾向。

公开(公告)号：CN116577333A

公开(公告)日：2023-08-11

申请号：CN202310088485.3

申请日：2023-02-09

Applicant: 日东电工株式会社

Inventor： 家原惠太 ,  铃木畅 ,  深见空斗

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/958

Abstract: 本发明的λ/4板的缺点检查方法包含：将第一起偏器、第一λ/4板、第二λ/4板和第二起偏器依次配置；及从第一起偏器侧的面入射光，观察第二起偏器侧的面的外观，检测第一λ/4板的缺点，其包含：使该第一起偏器的吸收轴与该第二起偏器的吸收轴正交，使该第一λ/4板的慢轴与该第二λ/4板的慢轴正交，将该第一起偏器的吸收轴与该第一λ/4板的慢轴所成的角设定为35°～55°，并且将该第二起偏器的吸收轴与该第二λ/4板的慢轴所成的角设定为35°～55°，在将该第一λ/4板的正常部分的相位差设定为Rp，将该第二λ/4板的相位差设定为Rf时，将|Rp‑Rf|设定为5nm～26nm。

公开(公告)号：CN116577332A

公开(公告)日：2023-08-11

申请号：CN202310088482.X

申请日：2023-02-09

Applicant: 日东电工株式会社

Inventor： 家原惠太 ,  铃木畅 ,  深见空斗

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/958

Abstract: 本发明的λ/4板的缺点检查方法包含：将第一起偏器、第一λ/4板、第二λ/4板和第二起偏器依次配置；及从第一起偏器侧的面入射光，观察第二起偏器侧的面的外观，检测第一λ/4板的缺点，其包含：将该第一起偏器的吸收轴与该第二起偏器的吸收轴设定为平行，将该第一λ/4板的慢轴与该第二λ/4板的慢轴设定为平行，将该第一起偏器的吸收轴与该第一λ/4板的慢轴所成的角设定为35°～55°，并且将该第二起偏器的吸收轴与该第二λ/4板的慢轴所成的角设定为35°～55°，根据第一λ/4板的缺点部分的相位差，调整该第一λ/4板的正常部分的相位差Rp与该第二λ/4板的相位差Rf的合计值。

公开(公告)号：CN115128851A

公开(公告)日：2022-09-30

申请号：CN202210298035.2

申请日：2022-03-24

Applicant: 日东电工株式会社

Inventor： 家原惠太 ,  深见空斗 ,  村上洋介

IPC: G02F1/13 ,  G02F1/13363

Abstract: 本发明提供能够以良好的灵敏度检查λ/4板的缺陷的缺陷方法。本发明的λ/4板的缺陷检查方法包括：依次配置第一起偏器、第一λ/4板、第二λ/4板、以及第二起偏器，使得该第一起偏器的吸收轴与该第二起偏器的吸收轴成为平行，该第一λ/4板的慢轴与该第二λ/4板的慢轴成为平行，该第一起偏器的吸收轴与第一λ/4板的慢轴所成的角成为35°～55°，并且该第一起偏器的吸收轴与第二λ/4板的慢轴所成的角成为35°～55°；以及使光从第一起偏器侧的面入射，并观察第二起偏器侧的面的外观。