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公开(公告)号：CN109267037A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201811390239.9
申请日：2018-11-21
Applicant: 新疆大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/513
Abstract: 本发明涉及一种常压等离子体增强化学气相沉积方法及采用该方法的设备，方法为：向空间a1通入源气体后激发生成等离子体，再向所述空间a1通入反应气体，混合后流向基体表面并在基体表面生成固态膜，所述基体位于所述空间a1外且与所述空间a1共同位于空间a2内，所述空间a1和所述空间a2为在流通的保护气体保护下的常压无氧密闭空间；设备包括用于提供空间a2的反应箱、载物台固定板、加热温控装置、用于提供空间a1的沉积反应头、等离子主机箱、源气体供气装置、反应气体供气装置和保护气体供气装置。本发明的设备结构简单，设计合理，安全系数高，能耗低；本发明的方法可在常压下进行等离子增强化学气相沉积，操作简单。
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