公开(公告)号：CN1930319A

公开(公告)日：2007-03-14

申请号：CN200580007849.0

申请日：2005-03-10

Applicant: 新明和工业株式会社 ,  株式会社大岛电机制作所

Inventor： 米山信夫 ,  中山孝 ,  泷川志朗 ,  梅泽隆男 ,  石泽资右 ,  高野博史

IPC: C23C14/34

CPC classification number: C23C14/34 ,  H01J37/32458 ,  H01J37/3435

Abstract: 本发明提供一种能够对依然装载于成型加工用的模具上的基体材料进行成膜加工的成膜装置。该装置具有一端利用底部封闭，另一端开放的筒状的框体(1h)、设置于所述底部内表面的靶(1a)、以及贯通框体(1h)的壁部形成的端口(3b)。

公开(公告)号：CN100529166C

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：CN200580007849.0

申请日：2005-03-10

Applicant: 新明和工业株式会社 ,  株式会社大岛电机制作所

Inventor： 米山信夫 ,  中山孝 ,  泷川志朗 ,  梅泽隆男 ,  石泽资右 ,  高野博史

IPC: C23C14/34

CPC classification number: C23C14/34 ,  H01J37/32458 ,  H01J37/3435

Abstract: 本发明提供一种能够对依然装载于成型加工用的模具上的基体材料进行成膜加工的成膜装置。该装置具有一端利用底部封闭，另一端开放的筒状的框体(1h)、设置于所述底部内表面的靶(1a)、以及贯通框体(1h)的壁部形成的端口(3b)。