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公开(公告)号:CN201122586Y
公开(公告)日:2008-09-24
申请号:CN200720126520.2
申请日:2007-08-08
Applicant: 新日本无线株式会社
Inventor: 小柳和真
IPC: H01L21/683
Abstract: 本实用新型提供一种不会遮蔽操作员的视野而可使吸附片的插入尺寸恒定的真空镊子用吸附片和真空镊子。包括:镊子主体部,在内部形成了吸引通路;吸附片,与连接在镊子主体部前端的平板基板接触;吸附片的表面呈具备了吸引口的平面状,在其背面,包括突出于背面一侧、相互隔开配置的多个凸起部,在其内部,包括吸附片表面的吸引口和与真空镊子主体内部的吸引通路连通的内部吸引通路。