公开(公告)号：CN112088305B

公开(公告)日：2024-07-30

申请号：CN201980030786.2

申请日：2019-08-02

Applicant: 新宇宙电机株式会社

Inventor： 三桥弘和 ,  堂上长则

IPC: G01N27/12

Abstract: 本发明的MEMS型半导体式气体检测元件的特征在于，其是具有MEMS结构且对氢气进行检测的MEMS型半导体式气体检测元件1，其具备基板2、设置于基板2且将金属氧化物半导体作为主成分的气体感应部3、对气体感应部3进行加热的加热部4、具有氢选择透过性且形成于气体感应部3的外侧的非活性膜5、和形成于非活性膜5的外侧且抑制气体感应部3劣化的保护膜6。

公开(公告)号：CN112088305A

公开(公告)日：2020-12-15

申请号：CN201980030786.2

申请日：2019-08-02

Applicant: 新宇宙电机株式会社

Inventor： 三桥弘和 ,  堂上长则

IPC: G01N27/12

Abstract: 本发明的MEMS型半导体式气体检测元件的特征在于，其是具有MEMS结构且对氢气进行检测的MEMS型半导体式气体检测元件1，其具备基板2、设置于基板2且将金属氧化物半导体作为主成分的气体感应部3、对气体感应部3进行加热的加热部4、具有氢选择透过性且形成于气体感应部3的外侧的非活性膜5、和形成于非活性膜5的外侧且抑制气体感应部3劣化的保护膜6。