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公开(公告)号:CN108455873A
公开(公告)日:2018-08-28
申请号:CN201810149209.2
申请日:2018-02-13
Applicant: 新加坡科技研究局 , 爱杰雅实业(新加坡)私人有限公司
Abstract: 多种实施方式可以提供一种形成铝掺杂氧化锌膜的方法。所述方法可以包括通过溶液沉积法在基底上形成种晶层。所述方法还可以包括在所述种晶层上沉积包含硝酸锌和氢氧化铝的前驱体溶液。所述方法可以进一步包括在等于或低于85℃的温度下使所述前驱体溶液与铝金属接触。所述铝掺杂氧化锌膜可以由所述前驱体溶液和所述铝金属形成。