公开(公告)号：CN102177429B

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN200980140278.6

申请日：2009-09-30

Applicant: 拓普康株式会社

Inventor： 上村拓人 ,  伊藤隆 ,  石井孝明

IPC: G01N21/956

CPC classification number: G01N21/95607 ,  G01N21/9501 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/30148 ,  H01L22/12 ,  H01L22/20

Abstract: 本发明提供一种晶片的图案检查方法及装置，具备以下步骤：输入作为检查对象的晶片的图案或芯片的检查图像，比较所输入的检查图像与预先存储的参考图像，根据比较图像的差异量，判断晶片或芯片的良否。当检查中良品率下降至规定的阈值以下时，利用偏离的图案或芯片的图像再次进行学习处理，制成新的参考图像。通过学习处理中学习图案后，寻找均匀的图案，若为均匀的图案部分，则通过图案匹配检查以外的间距检查等检查进行晶片的检查，或利用均匀的图案部分同时进行图案匹配检查和间距检查，决定图案匹配检查的灵敏度，以所决定的灵敏度检查晶片全面的图案或芯片。

公开(公告)号：CN102177429A

公开(公告)日：2011-09-07

申请号：CN200980140278.6

申请日：2009-09-30

Applicant: 拓普康株式会社

Inventor： 上村拓人 ,  伊藤隆 ,  石井孝明

IPC: G01N21/956

CPC classification number: G01N21/95607 ,  G01N21/9501 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/30148 ,  H01L22/12 ,  H01L22/20

Abstract: 本发明提供一种晶片的图案检查方法及装置，具备以下步骤：输入作为检查对象的晶片的图案或芯片的检查图像，比较所输入的检查图像与预先存储的参考图像，根据比较图像的差异量，判断晶片或芯片的良否。当检查中良品率下降至规定的阈值以下时，利用偏离的图案或芯片的图像再次进行学习处理，制成新的参考图像。通过学习处理中学习图案后，寻找均匀的图案，若为均匀的图案部分，则通过图案匹配检查以外的间距检查等检查进行晶片的检查，或利用均匀的图案部分同时进行图案匹配检查和间距检查，决定图案匹配检查的灵敏度，以所决定的灵敏度检查晶片全面的图案或芯片。