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公开(公告)号：CN113624704A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202111058646.1
申请日：2021-09-10
Applicant: 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 , 扬州大学广陵学院
IPC: G01N21/31
Abstract: 本发明涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种多晶硅清洗液的评估方法，包括以下步骤：建立循环系统，自对多晶硅清洗液进行存储的槽体一处对部分清洗液进行抽取，且自另一处将抽取的清洗液返送回槽体内；对循环系统内的清洗液进行吸光度分析，获得吸光度值；对吸光度值进行信号转化，获得数字信号；通过数字信号对清洗液进行评估。本发明中利用吸光度分析的方法确定HF/HNO3的水溶液组分变化，可以对清洗液的更换和调配提供可定量的判断指标，从而使得硅料刻蚀的过程获得稳定的控制，保证供下游拉直单晶使用的硅料具有较高的质量，从而提高最终产品的稳定性及可靠性。
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公开(公告)号：CN116551702B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202310845640.1
申请日：2023-07-11
Applicant: 江苏鑫华半导体科技股份有限公司 , 扬州大学广陵学院
Abstract: 本发明公开了一种清洁机器人和清洁方法，清洁机器人用于清洁还原炉，还原炉包括待清洁区域，待清洁区域包括清洁面和电极，电极位于清洁面上，清洁机器人包括安装支架、三维图像模组和清洁装置，三维图像模组和清洁装置设置于安装支架上，三维图像模组用于检测待清洁区域的图像信息，清洁装置用于根据图像信息规划清洁路径和清洁模式，并根据清洁路径执行清洁模式以清洁待清洁区域。如此，清洁机器人自动规划待清洁区域的清洁路径和清洁模式，从而对清洁面和电极进行打磨和擦拭，采用清洁机器人对还原炉进行清洁，使得还原炉无需在特定的环境进行清洁，且在更换还原炉时无需重新示教，提高了清洁效率。
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公开(公告)号：CN117393329A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202311333501.7
申请日：2023-10-13
Applicant: 扬州大学广陵学院
Abstract: 本发明涉及电池材料，公开了一种电池阳极材料及其制备方法和应用。所述阳极材料包括二氧化铈空心球和掺杂在所述二氧化铈空心球结构中的镱、铒和硅。制备方法包括如下步骤：(1)将尿素、柠檬酸盐、铈盐、镱盐、铒盐、氧化剂和水混合后进行加热反应I，然后分离，得到反应产物I；(2)将所述反应产物I、硅酸酯和溶剂混合后进行加热反应II，然后分离，得到反应产物II；(3)对所述反应产物II进行煅烧反应。该电池阳极材料具有较高的光电转换效率，且成本较低。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116551702A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310845640.1
申请日：2023-07-11
Applicant: 江苏鑫华半导体科技股份有限公司 , 扬州大学广陵学院
Abstract: 本发明公开了一种清洁机器人和清洁方法，清洁机器人用于清洁还原炉，还原炉包括待清洁区域，待清洁区域包括清洁面和电极，电极位于清洁面上，清洁机器人包括安装支架、三维图像模组和清洁装置，三维图像模组和清洁装置设置于安装支架上，三维图像模组用于检测待清洁区域的图像信息，清洁装置用于根据图像信息规划清洁路径和清洁模式，并根据清洁路径执行清洁模式以清洁待清洁区域。如此，清洁机器人自动规划待清洁区域的清洁路径和清洁模式，从而对清洁面和电极进行打磨和擦拭，采用清洁机器人对还原炉进行清洁，使得还原炉无需在特定的环境进行清洁，且在更换还原炉时无需重新示教，提高了清洁效率。
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公开(公告)号：CN113624704B
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202111058646.1
申请日：2021-09-10
Applicant: 江苏鑫华半导体材料科技有限公司 , 扬州大学广陵学院
IPC: G01N21/31
Abstract: 本发明涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种多晶硅清洗液的评估方法，包括以下步骤：建立循环系统，自对多晶硅清洗液进行存储的槽体一处对部分清洗液进行抽取，且自另一处将抽取的清洗液返送回槽体内；对循环系统内的清洗液进行吸光度分析，获得吸光度值；对吸光度值进行信号转化，获得数字信号；通过数字信号对清洗液进行评估。本发明中利用吸光度分析的方法确定HF/HNO3的水溶液组分变化，可以对清洗液的更换和调配提供可定量的判断指标，从而使得硅料刻蚀的过程获得稳定的控制，保证供下游拉直单晶使用的硅料具有较高的质量，从而提高最终产品的稳定性及可靠性。
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公开(公告)号：CN219615165U
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202320533575.4
申请日：2023-03-17
Applicant: 扬州大学广陵学院
Abstract: 本实用新型涉及废气收集处理领域，具体是一种废气收集处理装置，包括机箱，所述机箱侧边设置有储水箱，所述储水箱上方设置有水泵，所述水泵进水口连接储水箱，所述水泵出水口连接水管，所述机箱的中部设置有隔离板，且隔离板的上方为喷淋室，隔离板的下方为蓄水箱，所述喷淋室内壁安装有支撑板，所述支撑板上固定有水管，所述机箱一侧开设排气口与通风管一端连接，启动水泵将储水箱内的水抽出，水经过布置在喷淋室内的水管，通过水管上的喷头喷出，将废气吸到喷淋室内，经过扰流板的干扰形成曲线路线使气体得到净化，配合达到了将废气通过扰流使气体可以充分的进行水淋净化，避免了气体过快的通过导致漂浮物净化不完全，提高了废气的净化质量。
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公开(公告)号：CN216935946U
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202220659067.6
申请日：2022-03-23
Applicant: 扬州大学广陵学院
Abstract: 本实用新型属于固定床反应器，公开了一种列管式固定床反应器，包括反应器筒、螺旋折流板、反应管和能够对反应管进行换热的换热管，螺旋折流板设置在换热管4内部，反应器筒上设置有进料口、出料口、换热进口和换热出口，进料口设置在出料口的上方，换热进口设置在换热出口的下方，进料口和反应管的进口之间形成进料通道，反应管的出口和出料口之间形成出料通道，换热管的进口和换热进口之间形成换热介质进入通道，换热管的出口和换热出口之间形成换热介质排出通道。本实用新型的反应器能够有效反应物的转化率，且能够减轻反应管的震动，增加反应器的换热效率。
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