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公开(公告)号:CN106546635A
公开(公告)日:2017-03-29
申请号:CN201610930445.9
申请日:2016-10-27
Applicant: 扬州大学
IPC: G01N27/12
CPC classification number: G01N27/129 , G01N27/127
Abstract: 本发明涉及基于p-n异型异质结半导体二氧化氮气敏层的制备方法。本发明将单晶硅片Si作为绝缘基体,在绝缘基体正面制备叉指型电极和接线端,分别称取硝酸锌和硝酸铜的混合粉末溶于去离子水或有机溶剂中,搅拌得到均匀溶液作为前驱体,通过非雾化喷嘴送入到由等离子喷枪产生的焰流,经过蒸发、分解、成核、加热和加速,以熔融粒子撞击在叉指型电极正上方制备得到半导体气敏涂层。本发明克服了过去润滑涂层中存在的因晶粒长大而导致的涂层性能下降和失效等缺陷。本发明快速制备纳米、多孔结构p-n异型异质结半导体气敏层,重复性好,可以实现多种p-n型半导体材料复合,对低浓度NO2的响应具有灵敏度高、响应速度较快等优点。
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公开(公告)号:CN106383150A
公开(公告)日:2017-02-08
申请号:CN201610825096.4
申请日:2016-09-14
Applicant: 扬州大学
CPC classification number: G01N27/125 , G01N27/127
Abstract: 本发明涉及一种在柔性衬底上沉积NO2气敏材料的高温制备方法。本发明聚丙烯、聚酰亚胺或者聚对苯二甲酸乙二醇酯作为器件的衬底,在衬底正面制备叉指型电极和接线端,将金属氧化物粉末溶于去离子水或有机溶剂中,搅拌得到均匀悬浮液,悬浮液经火焰喷枪产生的焰流,悬浮液经过蒸发、加热和加速以熔融粒子撞击在叉指型电极正上方制备得到半导体气敏涂层。本发明克服了现有技术存在的缺陷。本发明沉积过程更为简单,成本更低,效率更高,可选择材料范围宽,具有灵敏度高、响应速度较快,气敏材料范围更广。
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公开(公告)号:CN106198648A
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201610824970.2
申请日:2016-09-14
Applicant: 扬州大学
IPC: G01N27/12
CPC classification number: G01N27/127
Abstract: 本发明涉及一种室温氢气传感器的制备方法。本发明采用氧化铝Al2O3或经过表面氧化处理的单晶硅片Si作为绝缘基体,在绝缘基体正面制备叉指型电极和接线端,称取硝酸盐粉末溶于去离子水或有机溶剂中,搅拌得到均匀溶液,将溶液转移到高压釜里进行水热反应,将反应后的悬浮液用水和乙醇在离心机中冲洗并在空气中干燥得到相应粉末,将粉末在叉指型电极正上方制备金属半导体氧化物涂层,热处理,贵金属盐溶解于有机溶剂得到溶液,利用染料溶液对半导体涂层表面进行处理,对浸渍处理试样进行室温干燥处理。本发明克服了现有技术存在的缺陷。本发明具有灵敏度高、响应速度较快、无须外加热源等特点,无需传统气敏原件加热部件,提高传感器经济性和稳定性。
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公开(公告)号:CN106198648B
公开(公告)日:2020-12-01
申请号:CN201610824970.2
申请日:2016-09-14
Applicant: 扬州大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明涉及一种室温氢气传感器的制备方法。本发明采用氧化铝Al2O3或经过表面氧化处理的单晶硅片Si作为绝缘基体,在绝缘基体正面制备叉指型电极和接线端,称取硝酸盐粉末溶于去离子水或有机溶剂中,搅拌得到均匀溶液,将溶液转移到高压釜里进行水热反应,将反应后的悬浮液用水和乙醇在离心机中冲洗并在空气中干燥得到相应粉末,将粉末在叉指型电极正上方制备金属半导体氧化物涂层,热处理,贵金属盐溶解于有机溶剂得到溶液,利用染料溶液对半导体涂层表面进行处理,对浸渍处理试样进行室温干燥处理。本发明克服了现有技术存在的缺陷。本发明具有灵敏度高、响应速度较快、无须外加热源等特点,无需传统气敏原件加热部件,提高传感器经济性和稳定性。
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公开(公告)号:CN106896146A
公开(公告)日:2017-06-27
申请号:CN201710019887.2
申请日:2017-01-05
Applicant: 扬州大学
IPC: G01N27/30
CPC classification number: G01N27/307
Abstract: 本发明涉及一种铁酸锌丙酮气敏层的涂层制备方法。本发明采用氧化铝Al2O3作为绝缘基体制备叉指型电极,在基体反面制备加热电极,取铁酸锌纳米粉末溶于去离子水或有机溶剂中,搅拌得到均匀悬浮液,通过蠕动泵将悬浮液以直径为0.3mm的非雾化喷嘴送入到焰流中心,通过调节H2的流量以及喷枪电弧电流来控制焰流状态,得到气敏涂层,热处理温度在300‑600℃之间,热处理时间在1‑24小时,得到晶体结构。本发明克服了各种制备方法生产过程复杂,周期长,效率低等缺陷。本发明快速、简单的方法制备得到铁酸锌气敏涂层,后续热处理的温度,得到制备的最优的参数,获得具有选择性高、响应速度快的铁酸锌丙酮气体传感器,制备过程快速、简单,结构可控,提高传感器的性能。
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公开(公告)号:CN114487020B
公开(公告)日:2023-12-22
申请号:CN202210118380.3
申请日:2022-02-08
Applicant: 扬州大学
Abstract: 本发明公开了一种面向肺癌呼吸标志气甲醇的气敏材料及其制备方法,由若干个交叉在一起的纳米棒组成,纳米棒的直径为0.2~0.3μm,纳米棒的长度为10~20μm,其可用于甲醇浓度的检测,尤其适用于作为检测肺癌早期呼吸气标志性气体甲醇的优选新材料。
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公开(公告)号:CN114487020A
公开(公告)日:2022-05-13
申请号:CN202210118380.3
申请日:2022-02-08
Applicant: 扬州大学
Abstract: 本发明公开了一种面向肺癌呼吸标志气甲醇的气敏材料及其制备方法,由若干个交叉在一起的纳米棒组成,纳米棒的直径为0.2~0.3μm,纳米棒的长度为10~20μm,其可用于甲醇浓度的检测,尤其适用于作为检测肺癌早期呼吸气标志性气体甲醇的优选新材料。
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公开(公告)号:CN106896146B
公开(公告)日:2019-03-01
申请号:CN201710019887.2
申请日:2017-01-05
Applicant: 扬州大学
IPC: G01N27/30
Abstract: 本发明涉及一种铁酸锌丙酮气敏层的涂层制备方法。本发明采用氧化铝Al2O3作为绝缘基体制备叉指型电极,在基体反面制备加热电极,取铁酸锌纳米粉末溶于去离子水或有机溶剂中,搅拌得到均匀悬浮液,通过蠕动泵将悬浮液以直径为0.3mm的非雾化喷嘴送入到焰流中心,通过调节H2的流量以及喷枪电弧电流来控制焰流状态,得到气敏涂层,热处理温度在300‑600℃之间,热处理时间在1‑24小时,得到晶体结构。本发明克服了各种制备方法生产过程复杂,周期长,效率低等缺陷。本发明快速、简单的方法制备得到铁酸锌气敏涂层,后续热处理的温度,得到制备的最优的参数,获得具有选择性高、响应速度快的铁酸锌丙酮气体传感器,制备过程快速、简单,结构可控,提高传感器的性能。
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公开(公告)号:CN107064218A
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201610957295.0
申请日:2016-10-31
Applicant: 扬州大学
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明涉及基于还原石墨烯‑半导体室温二氧化氮传感器制备方法。本发明将石墨和NaNO3加入H2SO4中,加入KMnO4,到恒温水浴锅反应,加入去离子水并终止反应,再加入H2O2溶液和盐酸,得到氧化石墨烯悬浮液,无机盐粉末溶于去离子水,加入,高压釜里干燥得到相应粉末,单晶硅片Si作为绝缘基体在基体正面制备叉指型电极和接线端,在叉指型电极正上方制备还原石墨烯‑半导体复合涂层。本发明克服了过去存在的增加传感器的功耗、减小传感器的寿命以及增加检测的安全危险性等缺陷。本发明利用还原石墨烯具有巨大的比表面积、非常快的电子传输速度以及良好的吸光性,有更快的响应和恢复速度、更低的工作温度。
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公开(公告)号:CN106546636A
公开(公告)日:2017-03-29
申请号:CN201610930556.X
申请日:2016-10-27
Applicant: 扬州大学
IPC: G01N27/12
CPC classification number: G01N27/127
Abstract: 本发明涉及基于同型异质结半导体二氧化氮气敏层的制备方法。本发明氧化处理的单晶硅片Si作为绝缘基体,在绝缘基体正面制备叉指型电极和接线端,分别取硝酸锌和氯化锡的混合粉末溶于去离子水或有机溶剂中,搅拌得到均匀溶液作为前驱体,将前驱体通过非雾化喷嘴送入到由等离子喷枪产生的焰流,经过蒸发、分解、成核、加热和加速系列反应,以熔融粒子撞击在叉指型电极正上方制备得到半导体气敏涂层。本发明克服了过去方法步骤复杂、实验耗时长且效率低,且基本不能重复等缺陷。本发明具有同型异质结半导体气敏层可以实现多种同型半导体材料复合,并且制备得到的气敏材料对低浓度NO2的响应具有灵敏度高、响应速度较快等优点。
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