公开(公告)号：CN114966921B

公开(公告)日：2024-07-12

申请号：CN202210522989.7

申请日：2022-05-13

Applicant: 扬州大学

Inventor： 钱沁宇 ,  张程 ,  李孝峰 ,  王钦华

IPC: G02B5/00

Abstract: 本发明公开了一种用于热电子光转换的宽带偏振无关超表面完美吸收器，包括SiO2衬底，SiO2衬底上设有直径为d的纳米孔阵列，各纳米孔中设有直径为d的纳米柱；纳米孔包括光刻胶层、TiN层、TiO2层和MgF2层，纳米柱包括TiN层、TiO2层和MgF2层，光刻胶层、TiN层、TiO2层MgF2层的高度依次为h1、h2、h3、h4，且满足h1

公开(公告)号：CN114966921A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202210522989.7

申请日：2022-05-13

Applicant: 扬州大学

Inventor： 钱沁宇 ,  张程 ,  李孝峰 ,  王钦华

IPC: G02B5/00

Abstract: 本发明公开了一种用于热电子光转换的宽带偏振无关超表面完美吸收器，包括SiO2衬底，SiO2衬底上设有直径为d的纳米孔阵列，各纳米孔中设有直径为d的纳米柱；纳米孔包括光刻胶层、TiN层、TiO2层和MgF2层，纳米柱包括TiN层、TiO2层和MgF2层，光刻胶层、TiN层、TiO2层MgF2层的高度依次为h1、h2、h3、h4，且满足h1