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公开(公告)号：CN202388079U
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201120459070.5
申请日：2011-11-18
Applicant: 扬州大学
Abstract: 本实用新型涉及一种难加工材料的微精加工系统，属于复合精密微细特种加工技术领域。本实用新型作超声频振动的工具电极与工件分别接直流（或脉冲）电源的负极与正极，通过磁悬浮工作台保证工具电极与工件之间的恒压力接触，采用幅值6V及以下的低电压，通过超声斩波电路保证电源加电与超声振动之间的实时同步，实际加工时，在电极与工件的间隙中，充满掺入纳米级半导体微粉的低电导率工作液，本实用新型可通过调制工具电极的超声振幅、频率及电源加电间隙，实现在低电压、静液条件下的放电—电解复合方式的材料去除，实现不同特性材料异形面的精密、高效、低成本加工。
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