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公开(公告)号：CN207832823U
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201820133422.X
申请日：2018-01-26
Applicant: 成都信息工程大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本实用新型涉及一种大质量块的梳齿电容式加速度传感器，包括设有衬底、大质量敏感器件、两个弹性折叠梁、固定支柱和锚点，大质量敏感器件呈“回”字形，四周和内部带有M对可动梳齿，固定支柱一侧带有固定梳齿；所述固定支柱设于大质量敏感器件四周和内部，可动梳齿和固定梳齿采用偏置放置，并有一定的活动间隙；大质量敏感器件的上侧和下侧分别与弹性折叠梁连接，每个弹性折叠梁的另一端和锚点固定连接，使大质量敏感器件和衬底悬空，用于加速度的测量；固定支柱和锚点设于衬底上。本实用新型采用大质量敏感器件来提高了器件的量程，巧妙的器件参数在减小耦合的同时还提高了器件灵敏度，有效的减少了外力对芯片的应力损伤。
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