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实用新型
一种梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器失效

公开(公告)号：CN207908539U

公开(公告)日：2018-09-25

申请号：CN201721659689.4

申请日：2017-12-04

Applicant: 成都信息工程大学

Inventor： 刘玲 , 马文英 , 蔡德卿 , 李亚喃 , 李诗语

IPC: G01P15/125 , G01P15/18

Abstract: 本实用新型属于加速度传感器技术领域，涉及了一种梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器其特征在于：包括硅衬底、一个四面带若干梳齿电极的固定支柱、四个一面带若干梳齿电极的质量块、四个悬臂梁、四个锚点，固定支柱与锚点设于硅衬底上，四个悬臂梁一端分别连接在四个锚点上，另一端分别连接在四个质量块上使其悬空；四个质量块分别等距离的置于中心固定支柱的前后左右四个方向，质量块的梳齿与固定支柱的梳齿交错放置并留有等距离的活动间隙。本实用新型中梳齿式的差分电容检测结构，可以更好的消除轴间耦合干扰，提高加速度传感器的测量精度。

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