公开(公告)号：CN103026478B

公开(公告)日：2015-08-19

申请号：CN201180036342.3

申请日：2011-06-18

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： J·D·斯威尼 ,  A·M·阿维拉 ,  M·J·沃德延斯基 ,  J·R·德普雷斯 ,  T·H·鲍姆

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/02

CPC classification number: F17D3/01 ,  F17D3/00 ,  G05D7/0635 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/30466 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67253 ,  Y10T137/0324 ,  Y10T137/86389

Abstract: 用于确定流体供应容器的终点的装置和方法，其中当建立流体流动时采用一个静态流动限制设备和一个选择性可致动阀元件，控制流体流动通过位于所述流体供应容器的内部容积中的流动通道。终点确定可用于终止来自所述流体供应容器的流体供应和/或从一个流体耗尽供应容器切换至一个新容器，以继续或更新流体供应操作。所述装置和方法适用于与例如离子植入器的流体利用装置一同使用。

公开(公告)号：CN105047591B

公开(公告)日：2018-02-13

申请号：CN201510518383.6

申请日：2011-06-18

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： J·D·斯威尼 ,  A·M·阿维拉 ,  M·J·沃德延斯基 ,  J·R·德普雷斯 ,  T·H·鲍姆

IPC: H01L21/67

CPC classification number: F17D3/01 ,  F17D3/00 ,  G05D7/0635 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/30466 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67253 ,  Y10T137/0324 ,  Y10T137/86389

Abstract: 用于确定流体供应容器的终点的装置和方法，其中当建立流体流动时采用一个静态流动限制设备和一个选择性可致动阀元件，控制流体流动通过位于所述流体供应容器的内部容积中的流动通道。终点确定可用于终止来自所述流体供应容器的流体供应和/或从一个流体耗尽供应容器切换至一个新容器，以继续或更新流体供应操作。所述装置和方法适用于与例如离子植入器的流体利用装置一同使用。

公开(公告)号：CN105047591A

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：CN201510518383.6

申请日：2011-06-18

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： J·D·斯威尼 ,  A·M·阿维拉 ,  M·J·沃德延斯基 ,  J·R·德普雷斯 ,  T·H·鲍姆

IPC: H01L21/67

CPC classification number: F17D3/01 ,  F17D3/00 ,  G05D7/0635 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/30466 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67253 ,  Y10T137/0324 ,  Y10T137/86389

Abstract: 用于确定流体供应容器的终点的装置和方法，其中当建立流体流动时采用一个静态流动限制设备和一个选择性可致动阀元件，控制流体流动通过位于所述流体供应容器的内部容积中的流动通道。终点确定可用于终止来自所述流体供应容器的流体供应和/或从一个流体耗尽供应容器切换至一个新容器，以继续或更新流体供应操作。所述装置和方法适用于与例如离子植入器的流体利用装置一同使用。