公开(公告)号：CN108425090A

公开(公告)日：2018-08-21

申请号：CN201810274961.X

申请日：2012-08-09

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： 尼雷须·困达

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/08 ,  C23C14/35 ,  H01L21/318 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32495 ,  C23C14/0021 ,  C23C14/0676 ,  C23C14/083 ,  C23C14/3485 ,  C23C14/35 ,  H01J37/32477 ,  Y10T428/265

Abstract: 本发明涉及具有视需要氧化钇覆盖层的经AlON涂布的基质。具体讲，本发明公开一种位于陶瓷基质上的抗氟电浆涂层。在一个具体实例中，该组成物包括覆盖基质的约2微米厚的AlON涂层及视需要具有的覆盖该AlON涂层的约3微米厚的氧化钇涂层。