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公开(公告)号：CN107223207A
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201680009580.8
申请日：2016-01-29
Applicant: 微软技术许可有限责任公司
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01N21/958 , G01M11/0264 , G01N21/8851 , G01N2021/9511 , G02B5/1819 , G02B5/1866 , G02B27/4255 , G02B27/4277
Abstract: 以下涉及评估光学组件的质量。光学组件包括具有分量相对定向角的第一和第二光学透射分量光栅的布置，并且质量是根据分量相对定向角与期望的相对定向角的偏差来评估的。主组件包括具有期望的相对定向角的第一和第二光学透射主光栅的基本上匹配的布置。这些组件由第一和第二主光栅附近的第一和第二分量光栅支持，并且分别由第一光栅和第二光栅形成的第一和第二条纹图案被用来输出基于当第一条纹图案的条纹间隔基本上最大时的第二条纹图案的条纹间隔的质量评估。
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公开(公告)号：CN107223207B
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201680009580.8
申请日：2016-01-29
Applicant: 微软技术许可有限责任公司
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01N21/958 , G01M11/0264 , G01N21/8851 , G01N2021/9511 , G02B5/1819 , G02B5/1866 , G02B27/4255 , G02B27/4277
Abstract: 以下涉及评估光学组件的质量。光学组件包括具有分量相对定向角的第一和第二光学透射分量光栅的布置，并且质量是根据分量相对定向角与期望的相对定向角的偏差来评估的。主组件包括具有期望的相对定向角的第一和第二光学透射主光栅的基本上匹配的布置。这些组件由第一和第二主光栅附近的第一和第二分量光栅支持，并且分别由第一光栅和第二光栅形成的第一和第二条纹图案被用来输出基于当第一条纹图案的条纹间隔基本上最大时的第二条纹图案的条纹间隔的质量评估。
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