公开(公告)号：CN101002131A

公开(公告)日：2007-07-18

申请号：CN200580010806.8

申请日：2005-02-09

Applicant: 微视公司 ,  精工爱普生株式会社

Inventor： 兰黛尔·B·斯帕拉古 ,  瓦耶塔·O·戴维斯 ,  迪恩·R·布朗 ,  古贺欣郎 ,  阿部信正 ,  野村雄二郎

IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00

CPC classification number: G02B26/0858

Abstract: 电子照相打印机包括具有用来扫描光电导体上的光束的MEMS扫描仪的曝光单元。MEMS扫描仪包括具有与传统的旋转多边形扫描仪的面的形状类似的长宽比的反射镜。在优选实施例中，扫描镜在与其旋转轴平行的尺寸中，具有约750微米的长度，以及在垂直于其旋转轴的尺寸中，具有约8毫米的长度。MEMS扫描仪可操作用来以约5KHz的频率和约20度零到峰值机械扫描角的角位移扫描。

公开(公告)号：CN100492096C

公开(公告)日：2009-05-27

申请号：CN200580010806.8

申请日：2005-02-09

Applicant: 微视公司 ,  精工爱普生株式会社

Inventor： 兰黛尔·B·斯帕拉古 ,  瓦耶塔·O·戴维斯 ,  迪恩·R·布朗 ,  古贺欣郎 ,  阿部信正 ,  野村雄二郎

IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00

CPC classification number: G02B26/0858

Abstract: 电子照相打印机包括具有用来扫描光电导体上的光束的MEMS扫描仪的曝光单元。MEMS扫描仪包括具有与传统的旋转多边形扫描仪的面的形状类似的长宽比的反射镜。在优选实施例中，扫描镜在与其旋转轴平行的尺寸中，具有约750微米的长度，以及在垂直于其旋转轴的尺寸中，具有约8毫米的长度。MEMS扫描仪可操作用来以约5KHz的频率和约20度零到峰值机械扫描角的角位移扫描。

公开(公告)号：CN102365573A

公开(公告)日：2012-02-29

申请号：CN201080014064.7

申请日：2010-03-23

Applicant: 微视公司

Inventor： 乔舒亚·M·胡德曼 ,  瓦耶塔·O·戴维斯 ,  迪安·R·布朗

IPC: G02B26/10 ,  G02B26/08

CPC classification number: G02B26/101 ,  G02B26/0833 ,  H04N9/3129 ,  H04N9/3173

Abstract: 一种扫描光束投影系统，包括双反射镜扫描系统(110)。一个反射镜沿着一个方向扫描，并且第二反射镜沿着第二方向扫描。快速扫描反射镜(320)接收来自折叠反射镜(312)的调制光束并且将调制光束引导到慢速扫描反射镜。折叠反射镜可以在输出光学器件上形成或者可以在带有慢速扫描反射镜的公共衬底上形成。

公开(公告)号：CN102365573B

公开(公告)日：2013-09-25

申请号：CN201080014064.7

申请日：2010-03-23

Applicant: 微视公司

Inventor： 乔舒亚·M·胡德曼 ,  瓦耶塔·O·戴维斯 ,  迪安·R·布朗

IPC: G02B26/10 ,  G02B26/08

CPC classification number: G02B26/101 ,  G02B26/0833 ,  H04N9/3129 ,  H04N9/3173

Abstract: 一种扫描光束投影系统，包括双反射镜扫描系统(110)。一个反射镜沿着一个方向扫描，并且第二反射镜沿着第二方向扫描。快速扫描反射镜(320)接收来自折叠反射镜(312)的调制光束并且将调制光束引导到慢速扫描反射镜。折叠反射镜可以在输出光学器件上形成或者可以在带有慢速扫描反射镜的公共衬底上形成。

公开(公告)号：CN102027404B

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN200980117771.6

申请日：2009-04-15

Applicant: 微视公司

Inventor： 瓦耶塔·O·戴维斯 ,  哈坎·乌雷

IPC: G02B26/10 ,  B81B3/00 ,  G02B26/08

CPC classification number: G02B26/0841

Abstract: 简要地，根据一个或多个实施例，基于MEMS的扫描平台(114)被布置为通过直接通过向设置在第一框架上的一组梳齿指(214、216)施加驱动电压以使第一框架经由第一屈曲(210)的扭转振荡来直接驱动扫描平台的第一框架(116)并通过经由第二框架经由第二屈曲与第一框架的机械耦合来间接驱动扫描平台的第二框架(212)而具有增加的效率，其中阻尼损耗和工作量使得扫描反射镜的操作比梳齿指的组被设置在第二框架上并直接由驱动电压驱动的情况下更高效。扫描平台可以包括1D扫描仪、2D扫描仪、或多维扫描仪。

公开(公告)号：CN102027404A

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN200980117771.6

申请日：2009-04-15

Applicant: 微视公司

Inventor： 瓦耶塔·O·戴维斯 ,  哈坎·乌雷

IPC: G02B26/10 ,  B81B3/00 ,  G02B26/08

CPC classification number: G02B26/0841

Abstract: 简要地，根据一个或多个实施例，基于MEMS的扫描平台(114)被布置为通过直接通过向设置在第一框架上的一组梳齿指(214、216)施加驱动电压以使第一框架经由第一屈曲(210)的扭转振荡来直接驱动扫描平台的第一框架(116)并通过经由第二框架经由第二屈曲与第一框架的机械耦合来间接驱动扫描平台的第二框架(212)而具有增加的效率，其中阻尼损耗和工作量使得扫描反射镜的操作比梳齿指的组被设置在第二框架上并直接由驱动电压驱动的情况下更高效。扫描平台可以包括1D扫描仪、2D扫描仪、或多维扫描仪。