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公开(公告)号：CN115231510B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202210864868.0
申请日：2022-07-21
Applicant: 微纳感知(合肥)技术有限公司 , 深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司
Abstract: 本申请实施例期望提供一种气体流量计的MEMS芯片封装结构，MEMS芯片封装结构包括：主管材，内部形成有主气路，主管材的管壁设置有第一气流口和第二气流口，主管材的外表面一体成型有封装侧壁，第一气流口和第二气流口位于封装侧壁围设的区域内，封装侧壁的远离管壁的一端具有开口；壳盖，封闭封装侧壁的开口，壳盖和封装侧壁在主管材的外表面构造出具有安装腔的支气路封装体，安装腔连通第一气流口和第二气流口并形成支气路；用于检测气体流量的MEMS芯片，设置于安装腔中。本申请实施例，装配比较简单；可以通过模具来有效控制结构尺寸的精确性，产品的批量一致性较好；封装结构更加紧凑和小型化。
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公开(公告)号：CN115231510A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202210864868.0
申请日：2022-07-21
Applicant: 微纳感知(合肥)技术有限公司 , 深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司
Abstract: 本申请实施例期望提供一种气体流量计的MEMS芯片封装结构，MEMS芯片封装结构包括：主管材，内部形成有主气路，主管材的管壁设置有第一气流口和第二气流口，主管材的外表面一体成型有封装侧壁，第一气流口和第二气流口位于封装侧壁围设的区域内，封装侧壁的远离管壁的一端具有开口；壳盖，封闭封装侧壁的开口，壳盖和封装侧壁在主管材的外表面构造出具有安装腔的支气路封装体，安装腔连通第一气流口和第二气流口并形成支气路；用于检测气体流量的MEMS芯片，设置于安装腔中。本申请实施例，装配比较简单；可以通过模具来有效控制结构尺寸的精确性，产品的批量一致性较好；封装结构更加紧凑和小型化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN217560719U
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202221932027.0
申请日：2022-07-21
Applicant: 微纳感知(合肥)技术有限公司 , 深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司
Abstract: 本申请实施例提供一种MEMS气体质量流量传感器，包括具有检测腔体的封装体以及设置于检测腔体内的MEMS芯片，封装体具有气流入口以及气流出口，气流从气流入口流入检测腔体，并从气流出口流出检测腔体；封装体包括基板、封装侧壁和能够透过可见光或红外光的盖板，MEMS芯片贴装于基板上，基板具有与MEMS芯片电气连接的外端子；封装侧壁固定于基板上且环绕MEMS芯片，外端子位于封装侧壁围设的区域之外；盖板封闭封装侧壁远离基板的一端。本申请实施例，当MEMS气体质量流量传感器封装完成后，可以在生产线上采用光学测量仪对封装侧壁的高度、周向长度等尺寸进行非接触式测量，保障MEMS气体质量流量传感器的批量一致性。
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公开(公告)号：CN115096906A
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202210703836.2
申请日：2022-06-21
Applicant: 微纳感知(合肥)技术有限公司
Abstract: 本发明公开一种MEMS气体传感器晶圆微加工及测试系统、方法，系统包括机架，所述机架上设置有操作平台、点样系统、测试系统、划片系统、点样工位、测试工位、划片工位、驱动装置、视觉系统、控制单元；所述点样系统、测试系统、划片系统、驱动装置、视觉系统分别与控制单元电连接；所述驱动装置能够驱动所述操作平台分别移动至点样工位、测试工位、划片工位。方法包括晶圆位置矫正、形成Maping图、点样、测试、划片。本发明的优点在于：能够兼顾MEMS气体传感器晶圆涂敷气敏材料、检测、切割，且整体成本较低。
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公开(公告)号：CN108519408B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN201810447478.7
申请日：2018-05-11
Applicant: 微纳感知(合肥)技术有限公司
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明公开了一种气体传感器，包括依次层叠设置的硅衬底、检测电极、第一隔离膜、加热电阻和第二隔离膜，具有基体结构和自由端卷曲的悬臂结构，在悬臂结构的端部上设有气敏材料。本发明还提供了一种由气体传感器组成的传感器阵列，并提供了该气体传感器的制备方法，其包括(1)选择牺牲层；(2)制备检测电极；(3)制备第一隔离膜；(4)制备加热电阻；(5)制备第二隔离膜；(6)释放薄膜；(7)气敏材料加载。本发明的优点在于，该传感器功耗低、尺寸小、集成度高，生产工艺简单，易于定位，有效提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN108318547B
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN201810447480.4
申请日：2018-05-11
Applicant: 微纳感知(合肥)技术有限公司
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明公开了一种具有卷曲结构的单悬梁式气体传感器，包括依次层叠设置的硅衬底、支撑膜、加热电阻、隔离膜和检测电极，所述支撑膜用以提供整体支撑作用，加热电阻用以提供工作所需的温度，隔离膜将加热电阻及检测电极进行电隔离，检测电极用以检测电阻变化；该传感器具有基体结构和悬臂结构，该悬臂结构的端部为卷曲状，且其上设有气敏材料。本发明还提供了一种由具有卷曲结构的单悬梁式气体传感器组成的传感器阵列。本发明的优点在于，该传感器功耗低、尺寸小、集成度高，生产工艺简单，易于定位，有效提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN308995381S
公开(公告)日：2024-12-10
申请号：CN202430291603.6
申请日：2024-05-16
Applicant: 微纳感知(合肥)技术有限公司
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：气体传感器封装装置（1）。
2.本外观设计产品的用途：用于传感器的贴片式封装。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
5.后视图与主视图相同，省略后视图;右视图与左视图相同，省略右视图。
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