公开(公告)号：CN112469660B

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN201980044068.0

申请日：2019-06-27

Applicant: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 ,  开姆尼茨工业大学

Inventor： 罗马·福克 ,  卡拉·希拉

IPC: B81C1/00

Abstract: 本发明涉及用于微机械系统的构件(16)和用于制造构件的方法。构件具有上侧和与上侧相对置的下侧且包括：至少一个第一结构元件，第一结构元件设置在构件(16)的第一区域内并且由至少一个第一间隙(19)界定；以及至少一个第二结构元件，第二结构元件设置在构件(16)的与第一区域(21)不同的第二区域(22)中并且由至少一个第二间隙(20)界定。第一区域(21)通过构件(16)的下侧中的第一凹部(6)限定，其中构件(16)在第一区域(21)中的第一厚度(C)相对于构件(16)在第二区域(22)中的第二厚度(B)减小。至少一个第二间隙(20)的第二最小间隙宽度大于至少一个第一间隙(19)的第一最小间隙宽度。

公开(公告)号：CN112469660A

公开(公告)日：2021-03-09

申请号：CN201980044068.0

申请日：2019-06-27

Applicant: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 ,  开姆尼茨工业大学

Inventor： 罗马·福克 ,  卡拉·希拉

IPC: B81C1/00

Abstract: 本发明涉及用于微机械系统的构件(16)和用于制造构件的方法。构件具有上侧和与上侧相对置的下侧且包括：至少一个第一结构元件，第一结构元件设置在构件(16)的第一区域内并且由至少一个第一间隙(19)界定；以及至少一个第二结构元件，第二结构元件设置在构件(16)的与第一区域(21)不同的第二区域(22)中并且由至少一个第二间隙(20)界定。第一区域(21)通过构件(16)的下侧中的第一凹部(6)限定，其中构件(16)在第一区域(21)中的第一厚度(C)相对于构件(16)在第二区域(22)中的第二厚度(B)减小。至少一个第二间隙(20)的第二最小间隙宽度大于至少一个第一间隙(19)的第一最小间隙宽度。