公开(公告)号：CN101460782A

公开(公告)日：2009-06-17

申请号：CN200580039478.4

申请日：2005-11-17

Applicant: 应用材料股份有限公司

Inventor： H·-M·R·秋 ,  丹尼尔·O·克拉科 ,  肖恩·W·克瑞福德 ,  杰伊·J·荣格 ,  尤斯塞夫·A·劳德 ,  罗伯特·韦梅伦

IPC: F23G7/06 ,  F23G5/50 ,  F23N5/24 ,  F23N5/08

CPC classification number: F23G5/50 ,  B01D2258/0216 ,  F23G7/065 ,  F23K5/005 ,  F23N5/08 ,  F23N5/242 ,  F23N2027/02 ,  F23N2027/04 ,  F23N2029/02 ,  F23N2031/08 ,  F23N2031/18 ,  Y02C20/30 ,  Y02T50/677

Abstract: 在一或多个态样中，本发明揭示一种热反应器装置，该装置可用以处理工业废弃流体，例如在半导体及液晶显示制程中所产生的废弃气体。更详细地说，本发明包含一系统，其至少包含控制器、反应室、导管、前导、感测器及致动器，其中该反应室调适成由该控制器所控制，该导管导入该反应室，该前导设置于该反应室内的导管第一端，该感测器设置于该反应室外面的导管第二端，该反应室耦合至该控制器及调适成提供一指示至该控制器以指明该前导是否已点燃，及该致动器可操作的以开启及关闭该导管。本发明亦揭露多个其他态样。