公开(公告)号：CN105225986A

公开(公告)日：2016-01-06

申请号：CN201510362516.5

申请日：2015-06-26

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 陈天发 ,  D·卢博米尔斯基 ,  K·H·弗劳德 ,  S·T·恩古耶 ,  D·帕拉加斯维勒 ,  A·丹 ,  S·陈

IPC: H01L21/67

Abstract: 本公开案的实施方式一般提供一种用于处理腔室的改善基座加热器。所述基座加热器包括控温板和基板接收板，所述控温板具有第一表面和与所述第一表面相对的第二表面。所述控温板包括内部区域、外部区域和设置在所述内部区域和所述外部区域之间的连续热扼流器，所述内部区域包括第一组加热元件，所述外部区域包括第二组加热元件，所述外部区域围绕所述内部区域，以及所述基板接收板具有第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，所述基板接收板的所述第二表面耦接至所述控温板的所述第一表面。所述连续热扼流器使得能够在所述内部区域和所述外部区域之间产生和操纵非常小的温度梯度，从而允许在所述基板的表面上实现中央快速蚀刻轮廓或者边缘快速蚀刻轮廓。

公开(公告)号：CN105225986B

公开(公告)日：2019-11-01

申请号：CN201510362516.5

申请日：2015-06-26

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 陈天发 ,  D·卢博米尔斯基 ,  K·H·弗劳德 ,  S·T·恩古耶 ,  D·帕拉加斯维勒 ,  A·丹 ,  S·陈

IPC: H01L21/67

Abstract: 本公开案的实施方式一般提供一种用于处理腔室的改善基座加热器。所述基座加热器包括控温板和基板接收板，所述控温板具有第一表面和与所述第一表面相对的第二表面。所述控温板包括内部区域、外部区域和设置在所述内部区域和所述外部区域之间的连续热扼流器，所述内部区域包括第一组加热元件，所述外部区域包括第二组加热元件，所述外部区域围绕所述内部区域，以及所述基板接收板具有第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，所述基板接收板的所述第二表面耦接至所述控温板的所述第一表面。所述连续热扼流器使得能够在所述内部区域和所述外部区域之间产生和操纵非常小的温度梯度，从而允许在所述基板的表面上实现中央快速蚀刻轮廓或者边缘快速蚀刻轮廓。