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公开(公告)号：CN104419931A
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201310376404.6
申请日：2013-08-26
Applicant: 广州三星通信技术研究有限公司 , 三星电子株式会社
IPC: C23F1/28
Abstract: 本发明提供了一种蚀刻液，所述蚀刻液由以重量计的下述组分配制而成：15%-25%的三氯化铁，30%-50%的氢氟酸，2%-5%的磷酸，其余为水。优选地，在蚀刻液中，以重量计，三氯化铁的含量为20%-25%，氢氟酸的含量为35%-50%，磷酸的含量为2%-3%，其余为水。本发明的蚀刻液能够在实现高蚀刻效率和优良的加工效果的同时能够形成凸凹起伏和平缓过渡的表面微结构。
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