公开(公告)号：CN110129766A

公开(公告)日：2019-08-16

申请号：CN201910501608.5

申请日：2019-06-11

Applicant: 广东先导稀材股份有限公司

Inventor： 牛晓东 ,  赵青松 ,  何志达 ,  朱刘

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/26 ,  C23C16/40 ,  C30B11/00 ,  C30B29/08

Abstract: 本发明提供镀膜装置以及石英舟表面镀覆系统。镀膜装置包括喷头，喷头设有沿径向由外到内依次布置且彼此间隔开的第一通道、第二通道和第三通道，喷头具有第一端和第二端，第一端具有第一端面，第一端面设有沿径向由外到内依次布置且彼此间隔开的第一喷口、第二喷口和第三喷口，第一喷口呈封闭的连续的环形，第二喷口沿周向整圈分布，第一喷口与第一通道连通，第二喷口与第二通道连通，第三喷口与第三通道连通，第一通道用于连通于提供具有压力和速度的保护气体的保护气体源，第二通道用于连通于提供具有压力和速度的氧气的氧气源，第三通道用于连通于提供具有压力和速度的形成镀膜的组分的气体的组分源。由此能提高在石英舟上镀覆的镀膜的牢固性。

公开(公告)号：CN110129766B

公开(公告)日：2021-06-11

申请号：CN201910501608.5

申请日：2019-06-11

Applicant: 广东先导稀材股份有限公司

Inventor： 牛晓东 ,  赵青松 ,  何志达 ,  朱刘

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/26 ,  C23C16/40 ,  C30B11/00 ,  C30B29/08

Abstract: 本发明提供镀膜装置以及石英舟表面镀覆系统。镀膜装置包括喷头，喷头设有沿径向由外到内依次布置且彼此间隔开的第一通道、第二通道和第三通道，喷头具有第一端和第二端，第一端具有第一端面，第一端面设有沿径向由外到内依次布置且彼此间隔开的第一喷口、第二喷口和第三喷口，第一喷口呈封闭的连续的环形，第二喷口沿周向整圈分布，第一喷口与第一通道连通，第二喷口与第二通道连通，第三喷口与第三通道连通，第一通道用于连通于提供具有压力和速度的保护气体的保护气体源，第二通道用于连通于提供具有压力和速度的氧气的氧气源，第三通道用于连通于提供具有压力和速度的形成镀膜的组分的气体的组分源。由此能提高在石英舟上镀覆的镀膜的牢固性。