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公开(公告)号：CN112570365A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202110224808.8
申请日：2021-03-01
Applicant: 常州江苏大学工程技术研究院 , 江苏亚电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种智能自动化硅片清洗系统，包括，清洗组件，包括清洗箱、转动连接在清洗箱内的清洗框以及设置在清洗箱内的驱动部件；上料组件，包括设置在清洗箱一侧的上料管、设置在上料管内的送料带以及设置在送料带前端的辅助送料板；以及，卸板组件，所述卸板组件设置在清洗组件远离上料组件一侧，利用上料组件将硅片完整并且可以单个单个的倒入至清洗框内，并且因为倒入有间隔，进而可以使得每个硅片都粘附满清洗剂，使得后期清洗效果更好。
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公开(公告)号：CN112387647B
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN202110072089.2
申请日：2021-01-20
Applicant: 常州江苏大学工程技术研究院 , 江苏亚电科技有限公司
Abstract: 一种硅片清洗方法，包括：将硅片依次插入齿杆上相邻两夹紧齿之间，以使硅片支撑在各支撑杆上；将安装好硅片后的花篮主体放至清洗池的池底；推动端板沿滑轨向推块滑动至三个支撑杆分别与推动面接触后，打开喷淋；继续推动端板使得推块推动支撑杆沿滑动槽由高处滑动至低处，并压缩撑开弹簧，以使硅片向支撑杆跌落并露出硅片与夹紧齿夹紧的区域，进行清洗，从而提高了整个硅片的清洗效果；在清洗完成后，推块松开支撑杆，支撑杆在撑开弹簧的回弹力作用下推动硅片插回至两夹紧齿之间，并通过回弹力保证各硅片排列整齐。
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公开(公告)号：CN112570365B
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202110224808.8
申请日：2021-03-01
Applicant: 常州江苏大学工程技术研究院 , 江苏亚电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种智能自动化硅片清洗系统，包括，清洗组件，包括清洗箱、转动连接在清洗箱内的清洗框以及设置在清洗箱内的驱动部件；上料组件，包括设置在清洗箱一侧的上料管、设置在上料管内的送料带以及设置在送料带前端的辅助送料板；以及，卸板组件，所述卸板组件设置在清洗组件远离上料组件一侧，利用上料组件将硅片完整并且可以单个单个的倒入至清洗框内，并且因为倒入有间隔，进而可以使得每个硅片都粘附满清洗剂，使得后期清洗效果更好。
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公开(公告)号：CN112387647A
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN202110072089.2
申请日：2021-01-20
Applicant: 常州江苏大学工程技术研究院 , 江苏亚电科技有限公司
Abstract: 一种硅片清洗方法，包括：将硅片依次插入齿杆上相邻两夹紧齿之间，以使硅片支撑在各支撑杆上；将安装好硅片后的花篮主体放至清洗池的池底；推动端板沿滑轨向推块滑动至三个支撑杆分别与推动面接触后，打开喷淋；继续推动端板使得推块推动支撑杆沿滑动槽由高处滑动至低处，并压缩撑开弹簧，以使硅片向支撑杆跌落并露出硅片与夹紧齿夹紧的区域，进行清洗，从而提高了整个硅片的清洗效果；在清洗完成后，推块松开支撑杆，支撑杆在撑开弹簧的回弹力作用下推动硅片插回至两夹紧齿之间，并通过回弹力保证各硅片排列整齐。
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公开(公告)号：CN116648779A
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202180077560.5
申请日：2021-12-17
Applicant: 江苏亚电科技有限公司
IPC: H01L21/687
Abstract: 本申请涉及一种晶圆盒定位固定机构，第一固定定位块与第一侧边定位块先对晶圆盒底部进行初步固定，发出端滑动定位驱动件推动晶圆盒抵靠住第一固定定位块以对晶圆盒进行固定。而后，发出端滑动定位驱动件推动晶圆盒靠近第一固定定位块以对晶圆盒的侧壁进行固定。由于晶圆盒的两个面都被固定，晶圆盒不会因转动而松动提高了固定效果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114023682A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202111244336.9
申请日：2021-10-26
Applicant: 江苏亚电科技有限公司 , 亚电科技南京有限公司
IPC: H01L21/68 , H01L21/687
Abstract: 本申请涉及一种晶圆盒对位翻转机构，工作时，先将晶圆盒放置到第一旋转座上，第一固定定位块与第一侧边定位块先对晶圆盒底部进行初步固定，发出端滑动定位驱动件推动晶圆盒抵靠住第一固定定位块以对晶圆盒进行固定。而后，第一滑动定位驱动件推动晶圆盒靠近第一固定定位块以对晶圆盒的侧壁进行固定。由于晶圆盒的两个面都被固定，第一旋转座翻转90度时，晶圆盒不会松动，翻转后再由推动总成完成晶圆的推出。本发明的晶圆盒对位翻转机构实现了自动化的晶圆与晶圆盒的分离。
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公开(公告)号：CN114023682B
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202111244336.9
申请日：2021-10-26
Applicant: 江苏亚电科技有限公司 , 亚电科技南京有限公司
IPC: H01L21/68 , H01L21/687
Abstract: 本申请涉及一种晶圆盒对位翻转机构，工作时，先将晶圆盒放置到第一旋转座上，第一固定定位块与第一侧边定位块先对晶圆盒底部进行初步固定，发出端滑动定位驱动件推动晶圆盒抵靠住第一固定定位块以对晶圆盒进行固定。而后，第一滑动定位驱动件推动晶圆盒靠近第一固定定位块以对晶圆盒的侧壁进行固定。由于晶圆盒的两个面都被固定，第一旋转座翻转90度时，晶圆盒不会松动，翻转后再由推动总成完成晶圆的推出。本发明的晶圆盒对位翻转机构实现了自动化的晶圆与晶圆盒的分离。
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公开(公告)号：CN114589182A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202210113718.6
申请日：2022-01-30
Applicant: 江苏亚电科技有限公司
Abstract: 本发明涉及晶圆清洗技术领域，且公开了一种晶圆水平清洗装置，包括底板，所述底板的顶部固定连接有U形框和水箱，所述底板的顶部固定连接有外语U形框内腔的翻转机构，所述U形框内腔的左右两侧均转动连接有与翻转机构啮合的夹紧组件。该晶圆水平清洗装置及清洗方法，通过夹紧组件将晶圆夹紧固定后，同时启动刷洗机构和冲洗机构来对晶圆进行清洗，待晶圆其中的一面被清洗完后，启动翻转机构即可带动两个夹紧组件进行旋转，夹紧组件旋转的同时向上挤压刷洗机构，使得晶圆不会与刷洗机构发生磕碰，晶圆翻转180度后停止翻转机构，再次通过刷洗机构和冲洗机构来对晶圆的另一面进行清洗，实现了晶圆水平清洗装置高效清洗的目的。
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公开(公告)号：CN113690169B
公开(公告)日：2022-01-25
申请号：CN202111244045.X
申请日：2021-10-26
Applicant: 亚电科技南京有限公司 , 江苏亚电科技有限公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 本申请涉及一种晶圆倒盒装置，用于将晶圆从一个晶圆盒转移到另一个晶圆盒完成倒盒。需要进行倒盒时，满载晶圆的晶圆盒放置到第一旋转组件上，空的晶圆盒放置到第二旋转组件上，第一旋转组件和第二旋转组件旋转使晶圆盒相对设置，之后由推动总成推动第一旋转组件上的晶圆盒内的晶圆推动到第二旋转组件上的晶圆盒内，而后，第一旋转组件和第二旋转组件旋转回归图位置，满载晶圆的晶圆盒和空的晶圆盒均被机械手抓走，可继续进行下一个晶圆的转移。
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公开(公告)号：CN112992656B
公开(公告)日：2022-01-25
申请号：CN202110173404.0
申请日：2021-02-09
Applicant: 江苏亚电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了半导体晶圆清洗后烘干方法，风机的启动产生气流，气流经过加热丝的加热成为热气流，热气流经过中心管、连通管以及出风管吹向晶圆上方中央和下方中央；电机启动带动驱动轴转动，驱动轴带动主动齿轮转动，主动齿轮带动传动齿轮转动，传动齿轮带动从动齿轮转动，进而带动所有的转动杆转动，转动杆带动放料架转动，进而使得放料架上的晶圆交替的对准热气流。实现了晶圆的烘干，并且能够对多个晶圆进行烘干，提高烘干效率。
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