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公开(公告)号：CN102640007A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201080055160.6
申请日：2010-10-29
Applicant: 布鲁克纳米公司
Inventor： 卡尔·马瑟
CPC classification number: B82Y35/00 , G01Q10/04 , G01Q10/065 , G01Q70/04
Abstract: 扫描探针显微镜(SPM)(200)具有基于压电致动器的管式扫描器(12)，所述扫描器上附接有探针(14)并且所述扫描器可以通过对压电管施加电压而在三个平面内运动。一组挠性部(40)随着所述管的位移挠曲，附接至所述挠性部的应变计(74，76，78，80)用来测量所述挠性部的挠曲从而在扫描物体期间提供关于所述管的位移的反馈信息。所述应变计和挠性部形成这样一种运动感测框架或装置，其中对每个自由度提供单独的约束并且其中所述约束至少基本上互相正交。
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公开(公告)号：CN102640007B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201080055160.6
申请日：2010-10-29
Applicant: 布鲁克纳米公司
Inventor： 卡尔·马瑟
CPC classification number: B82Y35/00 , G01Q10/04 , G01Q10/065 , G01Q70/04
Abstract: 扫描探针显微镜(SPM)(200)具有基于压电致动器的管式扫描器(12)，所述扫描器上附接有探针(14)并且所述扫描器可以通过对压电管施加电压而在三个平面内运动。一组挠性部(40)随着所述管的位移挠曲，附接至所述挠性部的应变计(74，76，78，80)用来测量所述挠性部的挠曲从而在扫描物体期间提供关于所述管的位移的反馈信息。所述应变计和挠性部形成这样一种运动感测框架或装置，其中对每个自由度提供单独的约束并且其中所述约束至少基本上互相正交。
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公开(公告)号：CN103562732B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201280026601.9
申请日：2012-04-27
Applicant: 布鲁克纳米公司
CPC classification number: G01Q70/02
Abstract: 一种用于包括头部的扫描探针显微镜(SPM)的扫描器，具有扫描器本体，所述扫描器本体容纳致动器和检测扫描器移动的传感器。该扫描器本体能够通过手并在不使用工具的情况下从该头部移除，并且具有小于大约5立方英寸的总体积。做出规定以确保耦合到扫描器的探针装置的移动被限制成基本上仅在预期方向上。该扫描器的基础谐振频率可以大于10kHz。
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公开(公告)号：CN103562732A
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201280026601.9
申请日：2012-04-27
Applicant: 布鲁克纳米公司
CPC classification number: G01Q70/02
Abstract: 一种用于包括头部的扫描探针显微镜（SPM）的扫描器，具有扫描器本体，所述扫描器本体容纳致动器和检测扫描器移动的传感器。该扫描器本体能够通过手并在不使用工具的情况下从该头部移除，并且具有小于大约5平方英寸的总体积。做出规定以确保耦合到扫描器的探针装置的移动被限制成基本上仅在预期方向上。该扫描器的基础谐振频率可以大于10kHz。
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