公开(公告)号：CN116005111A

公开(公告)日：2023-04-25

申请号：CN202310052442.X

申请日：2023-02-02

Applicant: 布勒莱宝光学设备(北京)有限公司

Inventor： 刘亮 ,  魏国军 ,  张继朋 ,  高锐峰 ,  杨旭 ,  鲁程龙

IPC: C23C14/22 ,  C23C16/507

Abstract: 本发明提供了一种真空内热量平衡装置，包括：离子源装置、供电装置和供气装置，所述离子源装置可移动地设置在真空腔室内，用于产生等离子体；所述供电装置固定在所述真空腔室的侧壁上，用于为所述离子源装置提供产生等离子体所需要的电流，所述供气装置设置在所述真空腔室的侧壁上，用于为所述离子源装置提供产生等离子体以及散热所需要的气体。本发明能够通过一个离子源就可以实现大面积产品的镀膜或者表面修型，能够降低成本。

公开(公告)号：CN215008131U

公开(公告)日：2021-12-03

申请号：CN202121598251.6

申请日：2021-07-14

Applicant: 布勒莱宝光学设备(北京)有限公司

Inventor： 张继朋 ,  魏国军

IPC: H01J3/04 ,  C23C14/22

Abstract: 本实用新型提供一种离子源，在放电室内可拆卸设置第二栅网，通过第二栅网上规律分布的开孔改变气体密度，从而调节电离后产生的离子数量，无需加工与所需离子分布相应的多层栅网，只需单独加工和更换第二栅网即可实现。

公开(公告)号：CN214400701U

公开(公告)日：2021-10-15

申请号：CN202023215067.7

申请日：2020-12-28

Applicant: 布勒莱宝光学设备(北京)有限公司

Inventor： 魏国军 ,  张继朋 ,  李景薇

IPC: C23C14/54

Abstract: 本实用新型的涉及一种在线温测真空镀膜设备，包括真空室、工件架、镀膜装置、加热器和温测装置，所述工件架、镀膜装置和加热器设置在所述真空室内，所述温测装置包括红外温测仪和视窗，所述视窗将所述红外温测仪隔离设置在所述真空室外，所述视窗对于所述红外温测仪的工作波长而言是透明的。通过本实用新型的技术方案，使得红外温测仪能够在线获得工件架上被镀膜工件表面各点的实时温度，保证了每个镀膜工件表面定位温度均匀，进而实现精确调整加热器功率，提升镀膜工件表面成膜质量。