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公开(公告)号:CN106370994A
公开(公告)日:2017-02-01
申请号:CN201610816544.4
申请日:2016-09-12
Applicant: 工业和信息化部电子工业标准化研究院
IPC: G01R31/26
CPC classification number: G01R31/2601
Abstract: 本发明公开了一种高频光电导衰减法载流子寿命测试仪,包括:承载装置,用于置放待测样品;测试装置,设置在承载装置的上方,包括高频系统和脉冲激光系统,可利用高频光电导衰减法对承载装置上的样品进行检测;信号采集处理装置,与测试装置中的高频系统相连,用于接收、处理样品检测时产生的光电导衰减信号。本发明中的高频光电导衰减法原理是基于电容耦合的方式,准确度高,同时此方法不需要切割样品,测量简便迅速。
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公开(公告)号:CN206020600U
公开(公告)日:2017-03-15
申请号:CN201621050348.2
申请日:2016-09-12
Applicant: 工业和信息化部电子工业标准化研究院
IPC: G01R31/26
Abstract: 本实用新型公开了一种高频光电导衰减法载流子寿命测试仪,包括:承载装置,用于置放待测样品;测试装置,设置在承载装置的上方,包括高频系统和脉冲激光系统,可利用高频光电导衰减法对承载装置上的样品进行检测;信号采集处理装置,与测试装置中的高频系统相连,用于接收、处理样品检测时产生的光电导衰减信号。本实用新型中的高频光电导衰减法原理是基于电容耦合的方式,准确度高,同时此方法不需要切割样品,测量简便迅速。
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