水平多关节机器人以及包括水平多关节机器人的基板运送系统

    公开(公告)号:CN115088062A

    公开(公告)日:2022-09-20

    申请号:CN202180013120.3

    申请日:2021-02-02

    Abstract: 本发明提供一种水平多关节机器人。机器人(100)包括基座(1)、臂(3)和手(8),所述臂(3)可在水平方向旋转地连接在基座(1)且由相互可在水平方向旋转地连接的多个连杆(30)构成,所述手(8)可在水平方向旋转地连接在臂(3)。在作为多个连杆(30)中的至少一个连杆的第一连杆(31)形成有内部空间(40)。第一连杆(31)具有隔离壁(45),所述隔离壁(45)将内部空间(40)隔离为分别收纳部品的两个收纳室即第一收纳室(40A)和第二收纳室(40B)。

    机器人以及包括机器人的基板运送系统

    公开(公告)号:CN115066744A

    公开(公告)日:2022-09-16

    申请号:CN202180013132.6

    申请日:2021-02-02

    Abstract: 本发明提供一种机器人。机器人(100)包括基座(1)、臂(3)和手(8),所述基座(1)具有多个侧部,所述臂(3)可旋转地连接在基座(1),所述手(8)连接在臂(3)。臂(3)与基座(1)的连接部分从俯视来看最接近于第一侧部(11a)配置着。基座(1)收纳有控制部品。在第二侧部(11b)设置有维护部(12),该维护部(12)配置有第一板(24)等维护部品,用于对维护部品进行维护。

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